公开(公告)号：CN101742809B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN200910205161.3

申请日：2009-10-16

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 藤田秀树 ,  筱原己拔

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32678 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J2237/0041

Abstract: 本发明提供了一种等离子体生成设备，该等离子体生成设备包括：天线腔室，其被邻近于生成等离子体的等离子体腔室放置，并被排气为真空；天线，其被放置在天线腔室中，并放射高频波；分隔板，其由绝缘体制成，并将等离子体腔室与天线腔室分隔以阻挡气体进入天线腔室，并且允许从天线放射的高频波穿过分隔板；以及磁体装置，其放置在等离子体腔室外部，并在等离子体腔室中生成磁场以引起电子回旋共振。

公开(公告)号：CN101742809A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200910205161.3

申请日：2009-10-16

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 藤田秀树 ,  筱原己拔

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32678 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3171 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32422 ,  H01J2237/0041

Abstract: 本发明提供了一种等离子体生成设备，该等离子体生成设备包括：天线腔室，其被邻近于生成等离子体的等离子体腔室放置，并被排气为真空；天线，其被放置在天线腔室中，并放射高频波；分隔板，其由绝缘体制成，并将等离子体腔室与天线腔室分隔以阻挡气体进入天线腔室，并且允许从天线放射的高频波穿过分隔板；以及磁体装置，其放置在等离子体腔室外部，并在等离子体腔室中生成磁场以引起电子回旋共振。