公开(公告)号：CN109819570B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN201810825295.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 高桥元喜 ,  永尾友一 ,  立道润一 ,  井内裕

IPC: G02F1/13 ,  H05F3/04 ,  H01L21/265

Abstract: 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。

公开(公告)号：CN114695038A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202110973725.9

申请日：2021-08-24

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 永尾友一 ,  宇井利昌 ,  安田圭佑

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种空心阴极及离子源，能够将成为在等离子体生成容器中生成的等离子体的原料的原料气体及电子通过空心阴极稳定地供给到等离子体生成容器。在安装于离子束照射装置的离子源所具有的等离子体生成容器的空心阴极及具备该空心阴极的离子源中，该空心阴极具备电子放出构件，该电子放出构件通过被加热而放出电子，并形成有内部流路。被设为向内部流路导入原料气体并将通过了内部流路的原料气体及在内部流路中生成的电子供给到等离子体生成容器的结构，而且，电子放出构件由单质金属形成。

公开(公告)号：CN109817546A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201711372925.9

申请日：2017-12-19

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 高桥元喜 ,  永尾友一 ,  立道润一 ,  井内裕

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H05B33/10 ,  H05F3/04 ,  G02F1/13

Abstract: 本发明涉及一种具有静电消除装置的平面面板显示器制造装置，该静电消除装置适于在高真空下的玻璃基板的静电消除。平面面板显示器制造装置(ID)具备有：处理舱室(1)，其对玻璃基板(S)施予加工处理；以及搬运路径(3)，其形成将玻璃基板(S)搬入或搬出处理舱室(1)的搬入搬出路径；其中，处理舱室(1)及搬运路径(3)为处于真空环境下，且静电消除装置(O)连接于构成搬运路径(3)的真空容器的外壁面，该静电消除装置(O)朝向真空容器的内侧释放玻璃基板(S)的静电消除用的电子。

公开(公告)号：CN117790320A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202310901126.5

申请日：2023-07-21

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 小野田正敏 ,  后藤亮介 ,  永尾友一 ,  宇井利昌

IPC: H01L21/425 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明涉及提供一种可降低形成显示器的TFT的氧化物半导体膜的电阻值的离子束照射装置及离子束照射方法。离子束照射装置设为在显示器面板的制造步骤中使用，且对于具有氧化物半导体膜的照射对象物(T)照射包含既定的离子的离子束，该离子束照射装置具备将照射对象物(T)加热的加热装置(30)，且构成为在加热装置(30)将照射对象物(T)加热之后，以使得至少一部分的离子可贯通氧化物半导体膜的方式照射离子束(IB)。

公开(公告)号：CN110189990A

公开(公告)日：2019-08-30

申请号：CN201910126344.X

申请日：2019-02-20

Applicant: 国立大学法人东京农工大学 ,  日新离子机器株式会社

Inventor： 鲛岛俊之 ,  永尾友一

IPC: H01L21/265

Abstract: 本发明提供制造半导体元件的方法和离子注入装置，为了通过利用所希望的退火温度进行退火处理而能够将方块电阻降低到要求的水平，将离子注入到半导体基体W中的制造半导体元件的方法包括：第一离子注入工序，将氢离子或者稀有气体离子注入到半导体基体W中；以及第二离子注入工序，将掺杂离子注入到半导体基体W中。

公开(公告)号：CN109819570A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201810825295.4

申请日：2018-07-25

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 高桥元喜 ,  永尾友一 ,  立道润一 ,  井内裕

IPC: H05F3/04 ,  H01L21/265 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明涉及平面面板显示器制造装置。本发明提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合于在高真空下进行玻璃基板的除电的除电装置。本发明的平面面板显示器制造装置具有：处理室，对于玻璃基板施行加工处理；搬送路，形成玻璃基板往处理室搬入搬出的搬入搬出路径；其中，处理室与搬送路处于真空环境下；且在构成搬送路的真空容器的外壁面连接有除电装置，该除电装置用以朝向真空容器的内侧放出用于进行玻璃基板的除电的电子。