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发明公开
空心阴极及离子源无效

公开(公告)号：CN114695038A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202110973725.9

申请日：2021-08-24

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 永尾友一 , 宇井利昌 , 安田圭佑

IPC: H01J37/08 , H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种空心阴极及离子源，能够将成为在等离子体生成容器中生成的等离子体的原料的原料气体及电子通过空心阴极稳定地供给到等离子体生成容器。在安装于离子束照射装置的离子源所具有的等离子体生成容器的空心阴极及具备该空心阴极的离子源中，该空心阴极具备电子放出构件，该电子放出构件通过被加热而放出电子，并形成有内部流路。被设为向内部流路导入原料气体并将通过了内部流路的原料气体及在内部流路中生成的电子供给到等离子体生成容器的结构，而且，电子放出构件由单质金属形成。

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