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公开(公告)号:CN101231962A
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200710122963.9
申请日:2007-07-04
Applicant: 新光电气工业株式会社
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L2224/11 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73204 , H01L2224/92125 , H01L2924/15311 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 制造一种电极焊盘和凸点的连接的可靠性好的半导体装置。该半导体装置的制造方法的特征为,具有:第1工序,其将半导体基板升温到第1温度,将多个凸点依次与在该半导体基板上形成的多个电极焊盘虚接合;第2工序,其将前述半导体基板升温到高于前述第1温度的第2温度,将在前述第1工序中虚接合的多个前述电极焊盘与多个前述凸点实质性接合;以及第3工序,其将前述半导体基板分片。
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公开(公告)号:CN115334745A
公开(公告)日:2022-11-11
申请号:CN202210478241.1
申请日:2022-04-29
Applicant: 新光电气工业株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制接合材的附近的裂缝的复合配线基板、半导体装置和复合配线基板的制造方法。复合配线基板具有:具备有第1连接端子的第1配线基板、具备有与上述第1连接端子对置的第2连接端子的第2配线基板以及将上述第1连接端子与上述第2连接端子进行接合的接合材,俯视时,上述第1连接端子的第1轮廓位于上述第2连接端子的第2轮廓的内侧,上述接合材具有:与上述第1连接端子和上述第2连接端子这两者接触,由Cu和Sn的金属间化合物形成的第1部分以及俯视时,包含上述第1轮廓与上述第2轮廓之间的部分,由Bi和Sn的合金形成的第2部分,上述第2部分以与SnBi合金的共晶组成相比的高浓度含有Bi,上述第2部分与上述第2连接端子分开。
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