公开(公告)号：CN115948722A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202211234536.0

申请日：2022-10-10

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： S·L·巴特尔 ,  D·K·奈托 ,  J·N·格雷格 ,  J·托马斯 ,  C·帕克 ,  J·申德勒 ,  B·C·亨德里克斯 ,  B·H·奥尔森

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/54

Abstract: 本申请涉及一种用于固体化学汽化室的可压缩托盘。用于在原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统的安瓿的所述托盘。所述托盘经配置为当被压缩时能够具有减少的轮廓大小以增强所述托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以扩展大小以与所述安瓿的内壁表面形成改进的接触，以提供从所述内壁到所述托盘且最终到安置于所述托盘上的所述固体前体材料的改进的热传递。

公开(公告)号：CN220317946U

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202222661932.3

申请日：2022-10-10

Applicant: 恩特格里斯公司

Inventor： S·L·巴特尔 ,  D·K·奈托 ,  J·N·格雷格 ,  J·托马斯 ,  C·帕克 ,  J·申德勒 ,  B·C·亨德里克斯 ,  B·H·奥尔森

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/455

Abstract: 一种用于在原子层沉积(ALD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺或这两者中使用的固体前体材料的递送系统的安瓿的托盘。所述托盘经配置为当被压缩时能够具有减少的轮廓大小以增强所述托盘可插入到所述安瓿中的简易性，且所述托盘经配置以扩展大小以与所述安瓿的内壁表面形成改进的接触，以提供从所述内壁到所述托盘且最终到安置于所述托盘上的所述固体前体材料的改进的热传递。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利