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公开(公告)号：CN102365716A
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201080013937.2
申请日：2010-03-23
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/304 , H01L21/00
CPC classification number: B24B57/02 , B01D61/025 , B01D61/027 , B01D61/142 , B01D61/145 , B01D61/147 , B01D61/58 , B01D65/02 , B01D2315/08 , B01D2315/10 , B01D2321/04 , B24B37/04
Abstract: 本发明主要是关于从化学机械研磨(CMP)过程中回收研磨浆料及冲洗水的装置和方法。本发明也是关于使用离心泵来进行流变学测量及聚结预防。
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公开(公告)号：CN101939079A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200980104223.X
申请日：2009-02-04
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: B01D53/005 , B01D53/40 , B01D2257/108 , B01D2258/0216
Abstract: 本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。
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公开(公告)号：CN102300625A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080006328.4
申请日：2010-02-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 丹尼尔·O·克拉克 , 科林·约翰·迪金森 , 杰伊·J·俊 , 丹尼尔·斯蒂芬·布朗 , 迈赫兰·莫勒姆 , 弗兰克·F·霍史达瑞恩 , 莫特扎·法尔那 , 巴里·佩奇 , 加里·赛菲尔德 , 乔纳森·达赫姆 , 菲尔·钱德勒
CPC classification number: B01D47/027 , B01D47/06 , B01D53/185 , B01D53/40 , B01D53/78 , B01D2251/604 , B01D2251/80 , B01D2258/0216
Abstract: 本发明公开了一种减废设备的实施例。某些实施例中，减废设备包括洗涤器，其配置以从处理腔室接收排放流，并进一步从排放流移除第一粒子；洗涤导管，其连接到洗涤器以从洗涤器接收排放流，并配置以从排放流移除第二粒子，该洗涤导管具有一或多个入口，该一或多个入口配置以提供流体以充分地湿润洗涤导管的内部表面，以捕集内部表面上的第二粒子并沿着内部表面冲刷第二粒子；以及中央洗涤器，其经由洗涤导管连接到洗涤器。某些实施例中，洗涤导管从洗涤器向下倾斜至中央洗涤器。某些实施例中，多个洗涤器经由多个洗涤导管连接到中央洗涤器。
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公开(公告)号：CN101981653A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980110628.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/67017 , B01D53/38 , B01D53/74 , C23C14/56 , C23C16/4412 , Y10T137/0318 , Y10T137/0419
Abstract: 本发明提供了一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及，当处理工具在清洁模式下进行操作时，将惰性气体以第二流率引入处理工具真空泵中。本发明亦提供了多个其它实施例。
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公开(公告)号：CN101939713A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200980104225.9
申请日：2009-02-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B19/05
CPC classification number: G05B19/418 , G05B2219/31229 , Y02P90/02 , Y02P90/14
Abstract: 本发明提供了一种有效运作电子装置制造系统的方法与设备。根据一个方面，提供了一种电子装置制造系统，包括：处理工具；处理工具控制器，其连接至该处理工具，其中该处理工具控制器用以控制该处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至该处理工具控制器；其中该第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；以及其中该处理工具控制器用以使该第一次晶圆厂辅助系统从该第一运作模式改变至该第二运作模式。
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公开(公告)号：CN101939079B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200980104223.X
申请日：2009-02-04
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: B01D53/005 , B01D53/40 , B01D2257/108 , B01D2258/0216
Abstract: 本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。
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公开(公告)号：CN101981653B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200980110628.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/67017 , B01D53/38 , B01D53/74 , C23C14/56 , C23C16/4412 , Y10T137/0318 , Y10T137/0419
Abstract: 本发明提供了一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及，当处理工具在清洁模式下进行操作时，将惰性气体以第二流率引入处理工具真空泵中。本发明亦提供了多个其它实施例。
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公开(公告)号：CN102388432A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016233.0
申请日：2010-04-08
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 弗兰克·F·霍史达瑞恩 , 石川徹夜 , 杰伊·J·俊 , 菲尔·钱德勒 , 丹尼尔·O·克拉克
CPC classification number: B01D53/68 , B01D2251/102 , B01D2251/202 , B01D2257/204 , B01D2257/206 , B01D2257/2066 , B01D2257/708 , B01D2258/0216 , Y02W10/37
Abstract: 本发明提供一种在处理系统中用于处理排出液的方法及设备。在一些实施例中，一种用于处理排出液的系统包括：处理腔室，其具有处理空间；排放导管，其连接至该处理腔室以从该处理空间移除排出液：及反应物种产生器，其连接至该排放导管以将反应物种注入该排放导管来处理该排出液，其中该反应物种产生器产生包含下列至少一者的反应物种：单态氢、氢离子或氢自由基。在一些实施例中，一种用于处理排出液的方法包括以下步骤：从处理系统的处理空间经由与该处理空间流体连接的排放导管使排出液流动；在该排放导管中通过反应物种来处理该排出液，其中该反应物种包含下列至少一者：单态氢、氢离子或氢自由基；及使经处理的排出液流动至减弱系统。
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公开(公告)号：CN102209583A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN200980144641.1
申请日：2009-11-06
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: B01D53/18 , B01D47/06 , B01D47/14 , B01D53/005 , B01D2257/2066 , B01D2257/702 , B01D2258/0216 , C23C16/4412
Abstract: 本发明提供了一种具有增进的流出物洗涤及水份控制的减排系统，这里提供了一种改善流出物处理的设备。在一些实施例中，减排系统可以包括：排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在排放导管中，以从流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，流出物处理剂从流出物流移除非可排放的流出物；以及滴注器，其设置在排放导管中而位于最上方填充床上方，来以大液滴提供流出物处理剂，以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗最上方填充床的上表面的微粒。
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公开(公告)号：CN102473595A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080033998.5
申请日：2010-07-19
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: B08B7/0035 , B01D53/68 , B01D53/73 , B01D2257/2047 , C23C16/4405
Abstract: 本文提供用于回收氟化氢(HF)的方法和设备。在一些实施例中，设备包括用于处理衬底的系统，该系统包括用于处理衬底的处理腔室；氟产生器，其耦接至处理腔室以提供氟(F2)至处理腔室；减量系统，其耦接至处理腔室，以将从处理腔室排放的含氟流出物减量、并将含氟流出物的至少一部分转化为氟化氢(HF)；HF回收系统，其对由减量系统所产生的HF进行收集、纯化和浓缩当中的至少一项；和导管，其用于将回收的氟化氢(HF)提供至氟产生器或制造处理中的另一应用。
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