公开(公告)号：CN101939079A

公开(公告)日：2011-01-05

申请号：CN200980104223.X

申请日：2009-02-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 丹尼尔·O·克拉克 ,  迈赫兰·莫勒姆 ,  罗伯特·M·沃梅岚 ,  菲尔·钱德勒

IPC: B01D53/34 ,  B01D53/30

CPC classification number: B01D53/005 ,  B01D53/40 ,  B01D2257/108 ,  B01D2258/0216

Abstract: 本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。

公开(公告)号：CN101939079B

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200980104223.X

申请日：2009-02-04

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 丹尼尔·O·克拉克 ,  迈赫兰·莫勒姆 ,  罗伯特·M·沃梅岚 ,  菲尔·钱德勒

IPC: B01D53/34 ,  B01D53/30

CPC classification number: B01D53/005 ,  B01D53/40 ,  B01D2257/108 ,  B01D2258/0216

Abstract: 本发明提供一种处理可燃性废气的系统。该系统包括：排气导管，其将该可燃性废气运送至消减单元；控制系统，其耦合至该消减单元以判定该消减单元的参数；旁路阀，其耦合至该排气导管，并操作性地响应于监控系统；以及第二气体源，当该旁路阀在旁路模式下工作时，将第二气体与由该消减单元转向的废气混合，以提供混合气体，且该混合气体的可燃性低于废气。还提供了根据本发明的方法与数种其它实施方式。

公开(公告)号：CN101952933A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN200980105587.X

申请日：2009-02-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 丹尼尔·O·克拉克 ,  艾伦·G·福克斯 ,  罗伯特·M·沃梅岚 ,  肖恩·W·柯若弗德

IPC: H01L21/00 ,  F02C1/00

CPC classification number: F23G7/065 ,  F23G2209/142 ,  Y10T137/877

Abstract: 一种设备，用于将燃料引入电子装置制造排出物减排工具，包括：歧管；燃料源，其适于将燃料通过燃料管道供应至所述歧管；和多个喷嘴，其适于从所述歧管接收燃料；其中，所述歧管适于将燃料以高于火焰速度的燃料速度供应至所述喷嘴。