公开(公告)号：CN102365716A

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN201080013937.2

申请日：2010-03-23

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 安德烈亚斯·纽伯 ,  菲尔·钱德勒 ,  克利福德·斯托 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  迈克·科菲尔 ,  加米尔·莱斯顿

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/00

CPC classification number: B24B57/02 ,  B01D61/025 ,  B01D61/027 ,  B01D61/142 ,  B01D61/145 ,  B01D61/147 ,  B01D61/58 ,  B01D65/02 ,  B01D2315/08 ,  B01D2315/10 ,  B01D2321/04 ,  B24B37/04

Abstract: 本发明主要是关于从化学机械研磨(CMP)过程中回收研磨浆料及冲洗水的装置和方法。本发明也是关于使用离心泵来进行流变学测量及聚结预防。

公开(公告)号：CN102473595A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080033998.5

申请日：2010-07-19

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 安德烈亚斯·纽伯 ,  菲尔·钱德勒 ,  克利福德·C·斯托 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  迈克·科菲尔

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/00

CPC classification number: B08B7/0035 ,  B01D53/68 ,  B01D53/73 ,  B01D2257/2047 ,  C23C16/4405

Abstract: 本文提供用于回收氟化氢(HF)的方法和设备。在一些实施例中，设备包括用于处理衬底的系统，该系统包括用于处理衬底的处理腔室；氟产生器，其耦接至处理腔室以提供氟(F2)至处理腔室；减量系统，其耦接至处理腔室，以将从处理腔室排放的含氟流出物减量、并将含氟流出物的至少一部分转化为氟化氢(HF)；HF回收系统，其对由减量系统所产生的HF进行收集、纯化和浓缩当中的至少一项；和导管，其用于将回收的氟化氢(HF)提供至氟产生器或制造处理中的另一应用。

公开(公告)号：CN102187429A

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200980141383.1

申请日：2009-10-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 安德烈亚斯·纽伯 ,  丹尼尔·O·克拉克

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67017 ,  Y02P70/605

Abstract: 在此公开了用于回收来自处置流出物的热的方法和设备。在一些实施例中，设备可以包括：配置成用于气态或液态制程的第一处理腔室；配置成用于液态制程的第二处理腔室；以及具有压缩机和第一热交换器的热泵，其中压缩机配置成使用从第一处理腔室排出的第一流出物，并且其中具有第一与第二侧的第一热交换器配置成在第一与第二侧之间传输热，其中第一侧配置成使液态试剂流经其中并流至第二处理腔室中，并且第二侧配置成使来自第一处理腔室的第一加压流出物流经其中。在一些实施例中，加热器可以设置在热泵与第二处理腔室之间，以在液态试剂进入第二处理腔室之前，进一步加热该液态试剂。