公开(公告)号：CN102209583A

公开(公告)日：2011-10-05

申请号：CN200980144641.1

申请日：2009-11-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 菲尔·钱德勒 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  弗兰克·霍史达瑞恩 ,  丹·S·布朗 ,  巴里·佩奇 ,  艾伦·福克斯 ,  乔治·L·丹森三世 ,  杰伊·俊

IPC: B01D53/78 ,  B01D47/06

CPC classification number: B01D53/18 ,  B01D47/06 ,  B01D47/14 ,  B01D53/005 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2257/702 ,  B01D2258/0216 ,  C23C16/4412

Abstract: 本发明提供了一种具有增进的流出物洗涤及水份控制的减排系统，这里提供了一种改善流出物处理的设备。在一些实施例中，减排系统可以包括：排放导管，其使流出物流从其中流动通过；多个填充床，其设置在排放导管中，以从流出物流移除非可排放的流出物；一个或多个喷嘴，其设置为在相邻的填充床之间提供流出物处理剂，流出物处理剂从流出物流移除非可排放的流出物；以及滴注器，其设置在排放导管中而位于最上方填充床上方，来以大液滴提供流出物处理剂，以在基本上不会形成微细液滴的状态下润湿并冲洗最上方填充床的上表面的微粒。

公开(公告)号：CN102089857A

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200980127216.1

申请日：2009-07-09

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 艾伦·福克斯 ,  丹尼尔·O·克拉克 ,  弗兰克·F·霍史达瑞恩 ,  贝林达·福利波

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: G05D21/02 ,  B01D53/005 ,  B01D53/68 ,  B01D2251/102 ,  B01D2251/202 ,  B01D2251/208 ,  B01D2257/108 ,  B01D2257/11 ,  B01D2257/2027 ,  B01D2257/204 ,  B01D2257/2047 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2257/706 ,  B01D2258/0216

Abstract: 本发明提供一种热减弱系统，包含：热减弱反应器；入口，与该反应器流体相通；处理腔室，与该入口流体相通；第一鞘液源，与该入口流体相通；第一流量控制装置，经调整以调节来自该第一鞘液源的第一鞘液的流量；以及控制器，与该第一流量控制装置信号通信，经调整以通过操作该第一流量控制装置来调节该鞘液；其中该入口是经调整以接收来自该处理腔室的排出物流以及来自该第一鞘液源的第一鞘液，以利用该第一鞘液包覆该排出物，而形成包鞘排出物流，并且将该包鞘排出物流引入该反应器。