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公开(公告)号：CN101981653B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200980110628.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/67017 , B01D53/38 , B01D53/74 , C23C14/56 , C23C16/4412 , Y10T137/0318 , Y10T137/0419
Abstract: 本发明提供了一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及，当处理工具在清洁模式下进行操作时，将惰性气体以第二流率引入处理工具真空泵中。本发明亦提供了多个其它实施例。
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公开(公告)号：CN102388432A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016233.0
申请日：2010-04-08
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 弗兰克·F·霍史达瑞恩 , 石川徹夜 , 杰伊·J·俊 , 菲尔·钱德勒 , 丹尼尔·O·克拉克
CPC classification number: B01D53/68 , B01D2251/102 , B01D2251/202 , B01D2257/204 , B01D2257/206 , B01D2257/2066 , B01D2257/708 , B01D2258/0216 , Y02W10/37
Abstract: 本发明提供一种在处理系统中用于处理排出液的方法及设备。在一些实施例中，一种用于处理排出液的系统包括：处理腔室，其具有处理空间；排放导管，其连接至该处理腔室以从该处理空间移除排出液：及反应物种产生器，其连接至该排放导管以将反应物种注入该排放导管来处理该排出液，其中该反应物种产生器产生包含下列至少一者的反应物种：单态氢、氢离子或氢自由基。在一些实施例中，一种用于处理排出液的方法包括以下步骤：从处理系统的处理空间经由与该处理空间流体连接的排放导管使排出液流动；在该排放导管中通过反应物种来处理该排出液，其中该反应物种包含下列至少一者：单态氢、氢离子或氢自由基；及使经处理的排出液流动至减弱系统。
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公开(公告)号：CN101939713B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN200980104225.9
申请日：2009-02-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B19/05
CPC classification number: G05B19/418 , G05B2219/31229 , Y02P90/02 , Y02P90/14
Abstract: 本发明提供了一种有效运作电子装置制造系统的方法与设备。根据一个方面，提供了一种电子装置制造系统，包括：处理工具；处理工具控制器，其连接至该处理工具，其中该处理工具控制器用以控制该处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至该处理工具控制器；其中该第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；以及其中该处理工具控制器用以使该第一次晶圆厂辅助系统从该第一运作模式改变至该第二运作模式。
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公开(公告)号：CN102667643A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080051805.9
申请日：2010-11-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B11/48 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/042 , G05B19/045 , G05B2219/23316 , G05B2219/2612
Abstract: 提供用于增强控制、监测和记录电子装置制造系统的引入化学物和功率使用以及排放的方法和设备。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用。对于系统，工具可以进入许多不同深度的能源节约模式中，例如空闲(浅层能源节约，其中生产装备可以在数秒内恢复至正常生产而不影响质量或产量)、睡眠(深层能源节约，其中生产装备可以在数分钟内恢复)、或休眠(其中生产装备会需要数小时来恢复，以不影响质量或产量)。在一些实施例中，系统可以监测并显示在辅助生产层内的所有气体排放，以及Semi S23方法报告CO2当量排放。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的排出物处理气体以及能源使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102667643B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201080051805.9
申请日：2010-11-16
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B11/48 , G05B19/418
CPC classification number: G05B19/042 , G05B19/045 , G05B2219/23316 , G05B2219/2612
Abstract: 提供用于增强控制、监测和记录电子装置制造系统的引入化学物和功率使用以及排放的方法和设备。在一些实施例中，集成辅助生产层系统可以监测辅助生产层装备的能源使用。对于系统，工具可以进入许多不同深度的能源节约模式中，例如空闲(浅层能源节约，其中生产装备可以在数秒内恢复至正常生产而不影响质量或产量)、睡眠(深层能源节约，其中生产装备可以在数分钟内恢复)、或休眠(其中生产装备会需要数小时来恢复，以不影响质量或产量)。在一些实施例中，系统可以监测并显示在辅助生产层内的所有气体排放，以及Semi S23方法报告CO2当量排放。系统可以监测来自处理工具和辅助生产层装备的排出物处理气体以及能源使用。
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公开(公告)号：CN102300625A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201080006328.4
申请日：2010-02-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 丹尼尔·O·克拉克 , 科林·约翰·迪金森 , 杰伊·J·俊 , 丹尼尔·斯蒂芬·布朗 , 迈赫兰·莫勒姆 , 弗兰克·F·霍史达瑞恩 , 莫特扎·法尔那 , 巴里·佩奇 , 加里·赛菲尔德 , 乔纳森·达赫姆 , 菲尔·钱德勒
CPC classification number: B01D47/027 , B01D47/06 , B01D53/185 , B01D53/40 , B01D53/78 , B01D2251/604 , B01D2251/80 , B01D2258/0216
Abstract: 本发明公开了一种减废设备的实施例。某些实施例中，减废设备包括洗涤器，其配置以从处理腔室接收排放流，并进一步从排放流移除第一粒子；洗涤导管，其连接到洗涤器以从洗涤器接收排放流，并配置以从排放流移除第二粒子，该洗涤导管具有一或多个入口，该一或多个入口配置以提供流体以充分地湿润洗涤导管的内部表面，以捕集内部表面上的第二粒子并沿着内部表面冲刷第二粒子；以及中央洗涤器，其经由洗涤导管连接到洗涤器。某些实施例中，洗涤导管从洗涤器向下倾斜至中央洗涤器。某些实施例中，多个洗涤器经由多个洗涤导管连接到中央洗涤器。
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公开(公告)号：CN101981653A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980110628.4
申请日：2009-03-24
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: H01L21/67017 , B01D53/38 , B01D53/74 , C23C14/56 , C23C16/4412 , Y10T137/0318 , Y10T137/0419
Abstract: 本发明提供了一种操作电子器件制造系统的方法，包括以下步骤：当处理工具在处理模式下进行操作时，将惰性气体以第一流率引入处理工具真空泵中；以及，当处理工具在清洁模式下进行操作时，将惰性气体以第二流率引入处理工具真空泵中。本发明亦提供了多个其它实施例。
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公开(公告)号：CN101939713A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200980104225.9
申请日：2009-02-04
Applicant: 应用材料公司
IPC: G05B19/418 , G05B19/05
CPC classification number: G05B19/418 , G05B2219/31229 , Y02P90/02 , Y02P90/14
Abstract: 本发明提供了一种有效运作电子装置制造系统的方法与设备。根据一个方面，提供了一种电子装置制造系统，包括：处理工具；处理工具控制器，其连接至该处理工具，其中该处理工具控制器用以控制该处理工具；第一次晶圆厂辅助系统，其连接至该处理工具控制器；其中该第一次晶圆厂辅助系统用以在第一运作模式与第二运作模式中运作；以及其中该处理工具控制器用以使该第一次晶圆厂辅助系统从该第一运作模式改变至该第二运作模式。
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公开(公告)号：CN101835521A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200880113307.5
申请日：2008-10-25
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: B01D53/346 , B01D53/38 , B01D53/77 , B01D2251/102 , B01D2251/11 , B01D2258/0216 , C23C16/4412
Abstract: 本发明提供一种减少来自电子组件处理中的废液的方法，包括在一热减量工具中减量该废液以产生已减量的废液；判断该已减量的废液是否含有一种或多种目标化学物质；以及根据判断结果来改变热减量工具的一个或多个操作参数。本发明提供多种其它实施例。
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