缓解气密封装元器件密封细检漏试验氦气吸附程度的方法

    公开(公告)号:CN109141769A

    公开(公告)日:2019-01-04

    申请号:CN201810966242.4

    申请日:2018-08-22

    Inventor: 周帅 黄煜华 王斌

    CPC classification number: G01M3/202 G01M3/205

    Abstract: 本发明公开了一种缓解气密封装元器件密封细检漏试验氦气吸附程度的方法,包括以下步骤:识别封装材料;把对应的封装材料放到压力罐里充氦加压;对氦质谱检漏仪的测试腔进行本底校准;从压力罐中取出封装材料后放入氦质谱检漏仪,记录R材料≤0.5R1时的等待时间;对与上述封装材料组成相同的气密封装元器件,放到压力罐里充氦加压;从压力罐中取出气密封装元器件,放入高温箱烘焙,记录R元器件≤0.5R1、并且烘焙时间小于等待时间时的高温烘焙时间;对与上述封装材料组成相同的气密封装元器件,按照上述得到的高温烘焙时间进行高温烘焙。本发明能够有效缓解密封细检漏试验中氦气吸附对检测结果的影响,真实反映密封元器件的密封质量。

    封装管壳密封性检测系统的检测方法

    公开(公告)号:CN105675224A

    公开(公告)日:2016-06-15

    申请号:CN201610041665.6

    申请日:2016-01-21

    CPC classification number: G01M3/202

    Abstract: 本发明公开了一种封装管壳密封性检测系统的检测方法,通过所述检测装置和所述抽真空装置均与所述测试件密封连接,所述喷气装置、所述抽真空装置和所述支撑驱动装置与所述控制装置电性连接,较之以前的手动操作相比,可以在实现封装管壳的自动化检漏工作的同时,消除人为操作产生的误差,从而可以极大提高检测精确性和效率,且该系统操作简便,可靠性较高。

    观察窗挡板结构和真空镀膜设备
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115537759A

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202211367527.9

    申请日:2022-11-03

    Abstract: 本发明涉及一种观察窗挡板结构和真空镀膜设备。观察窗挡板结构包括挡板、轴套、连接杆、磁力驱动组件和锁止件;挡板与观察窗相对设置,且位于真空镀膜设备的炉腔内;轴套设于真空镀膜设备上;连接杆的第一端与挡板连接,连接杆的第二端活动插设于轴套;磁力驱动组件与轴套活动连接,用于通过磁力驱动连接杆绕其轴线转动,使得挡板相对于观察窗转动;锁止件用于限制磁力驱动组件相对于轴套的转动。由于观察窗挡板结构采用磁力驱动连接杆转动,磁力驱动组件只需要通过轴套与连接杆间隔连接,就能带动连接杆转动,因此可以保证炉腔内的真空度。同时锁止件能够防止非人为的外力带动挡板转动,进一步保证了挡板遮挡观察窗的有效性。

    腔体器件检测方法及装置

    公开(公告)号:CN111007145B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN201911155729.5

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本申请涉及一种腔体器件检测方法及装置。其中,腔体器件检测方法包括判断是否接收到各检测点的电信号;电信号为对当前处于振动状态的待测元器件进行检测得到;若判断的结果为是,则根据电信号,确定各检测点中的应激触发点;根据应激触发点,以及各检测点与待测元器件中各腔体的位置关系,输出待测元器件腔体中多余物的位置;位置关系包括各检测点于待测元器件表面形成的覆盖面与各腔体的对应关系。通过上述腔体器件的检测方法,解决了传统技术不能测试出多余物精确位置的问题,并进一步提高了检测结果的精度。在传统技术中,需要通过示波器去观测传感器传输的电信号,以得到检测结果,而本申请可直接输出多余物的位置,提高了检测效率。

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