成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质

    公开(公告)号:CN117392242B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311689964.7

    申请日:2023-12-11

    Abstract: 本申请涉及一种成像系统标定方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括:通过根据扫描电子显微镜SEM的样品台运动前,SEM的成像系统采集的第一SEM图像,确定施加至样品台在世界坐标系下的第一运动量,然后根据第一SEM图像和基于第一运动量控制样品台运动后成像系统采集的第二SEM图像,确定在图像坐标系下的第二运动量,最后根据第一运动量、第二运动量和成像模型,对成像系统进行标定。由于本申请实施例中无需针对成像系统不同的放大倍数更换不同的定制化高精度标定模板,而是根据第一运动量、第二运动量和成像模型确定参数,从而对成像系统进行标定,因此简化了标定操作,提高了操作的灵活性,省时省力,节约了成本。

    慢波结构和返波振荡器
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116013750A

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202310017834.2

    申请日:2023-01-06

    Abstract: 本申请涉及一种慢波结构和返波振荡器。所述慢波结构包括周期性波导;所述周期性波导包括相对设置的第一结构和第二结构,其中,在第一方向上,所述第一结构和所述第二结构相对设置的端面分别为具有周期性变化波动起伏的端面,所述第一结构的波峰部与所述第二结构的波峰部在第一方向上的投影重合,且所述第一结构的波峰部与所述第二结构的波峰部之间的距离为极小值,在所述第一结构的波谷部和所述第二结构的波峰部开设有注入通道,在第一方向上各所述注入通道连通形成电子注通道。采用本慢波结构能够提供更大的工作电流及提高互作用耦合阻抗,进而提升返波振荡器的输出性能。

    无测试向量集成电路产品测试方法、装置和计算机设备

    公开(公告)号:CN115267492A

    公开(公告)日:2022-11-01

    申请号:CN202210827505.X

    申请日:2022-07-14

    Abstract: 本申请涉及一种无测试向量集成电路产品测试方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括:针对从属于目标集成电路产品且依赖于测试向量的目标测试项目,获取目标测试项目的功能测试用例,并将所有功能测试用例存储于存储模块中;确定目标集成电路产品的当前待测测试项目;判断当前待测测试项目是否是依赖于测试向量的目标测试项目,若是,则从存储模块中调取目标功能测试用例,通过目标功能测试用例对目标集成电路产品进行测试,获得目标集成电路产品的测试结果;根据测试结果,确定当前待测测试项目是否通过测试。从而在集成电路产品研制厂商不愿提供或者不能提供测试向量的情况下,实现对缺乏测试向量的测试项目的测试。

    腔体器件检测方法及装置
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111007145B

    公开(公告)日:2022-10-18

    申请号:CN201911155729.5

    申请日:2019-11-22

    Abstract: 本申请涉及一种腔体器件检测方法及装置。其中,腔体器件检测方法包括判断是否接收到各检测点的电信号;电信号为对当前处于振动状态的待测元器件进行检测得到;若判断的结果为是,则根据电信号,确定各检测点中的应激触发点;根据应激触发点,以及各检测点与待测元器件中各腔体的位置关系,输出待测元器件腔体中多余物的位置;位置关系包括各检测点于待测元器件表面形成的覆盖面与各腔体的对应关系。通过上述腔体器件的检测方法,解决了传统技术不能测试出多余物精确位置的问题,并进一步提高了检测结果的精度。在传统技术中,需要通过示波器去观测传感器传输的电信号,以得到检测结果,而本申请可直接输出多余物的位置,提高了检测效率。

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