感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件

    公开(公告)号:CN117063123A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202280024496.9

    申请日:2022-03-24

    Inventor: 吉田健太

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、固化上述感光性树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法,及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件,所述感光性树脂组合物包含:环化树脂或其前驱体;SP值为21.0(J/cm3)0.5以上且小于25.0(J/cm3)0.5的溶剂B;SP值小于21.0(J/cm3)0.5或为25.0(J/cm3)0.5以上、且沸点为60℃以上的溶剂C;及光敏剂,上述溶剂C的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppm以上且10,000pDm以下。

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