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公开(公告)号:CN119643584B
公开(公告)日:2025-05-20
申请号:CN202510178324.2
申请日:2025-02-18
Applicant: 季华实验室
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明公开了一种基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备,涉及晶圆检测技术领域,其中基于布里渊光谱的晶圆检测方法包括以下步骤:根据布里渊光谱信息获取实测半高宽和实测频移;根据实测半高宽、实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度,晶格排列规则度用于表征晶圆对应检测位置点处是否存在晶体缺陷。本申请的基于布里渊光谱的晶圆检测方法能解决现有的晶圆检测技术无法实现对晶圆的晶体缺陷进行无损快速准确检测的问题,能无损、快速且准确地检测晶圆的晶体缺陷。
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公开(公告)号:CN118551280B
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202410996293.7
申请日:2024-07-24
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F18/2413 , G06F17/18 , G06F18/213 , G06F18/23213 , G01N21/65
Abstract: 本申请属于检测光谱数据的技术领域,公开了一种不平衡光谱数据检测方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:获取不平衡光谱数据,对不平衡光谱数据进行降维后,使用K均值聚类算法,对降维后不平衡光谱数据进行聚类,得到降维光谱数据,通过变分EM算法,对降维光谱数据进行采样,得到光谱采样数据,将光谱采样数据输入至预设的光谱检测模型,计算得到不平衡光谱数据的类别结果;通过将基于K均值聚类算法和变分EM算法得到的光谱采样数据输入到预设的光谱检测模型中,计算得到不平衡光谱数据的类别结果,以对不平衡光谱数据进行检测,提高了不平衡光谱数据的检测效率。
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公开(公告)号:CN118551280A
公开(公告)日:2024-08-27
申请号:CN202410996293.7
申请日:2024-07-24
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F18/2413 , G06F17/18 , G06F18/213 , G06F18/23213 , G01N21/65
Abstract: 本申请属于检测光谱数据的技术领域,公开了一种不平衡光谱数据检测方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:获取不平衡光谱数据,对不平衡光谱数据进行降维后,使用K均值聚类算法,对降维后不平衡光谱数据进行聚类,得到降维光谱数据,通过变分EM算法,对降维光谱数据进行采样,得到光谱采样数据,将光谱采样数据输入至预设的光谱检测模型,计算得到不平衡光谱数据的类别结果;通过将基于K均值聚类算法和变分EM算法得到的光谱采样数据输入到预设的光谱检测模型中,计算得到不平衡光谱数据的类别结果,以对不平衡光谱数据进行检测,提高了不平衡光谱数据的检测效率。
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公开(公告)号:CN118072857A
公开(公告)日:2024-05-24
申请号:CN202410464224.1
申请日:2024-04-17
Applicant: 季华实验室
IPC: G16C20/30 , G06F18/24 , G06N3/042 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G16C20/20 , G16C20/70 , G16C20/90
Abstract: 本申请属于配方搭配的技术领域,公开了一种新配方生成方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:获取配方数据库的物质组分关联矩阵信息,通过分子指纹算法和组分图注意力网络,基于各组分的分子结构信息,构建组分表示矩阵,根据配方图注意力网络,结合组分表示矩阵,对物质组分关联矩阵信息进行降维,得到最佳物质表示矩阵,根据最佳物质表示矩阵获取各物质之间的组合得分,并根据组合得分得到新配方,通过分子指纹算法、组分图注意力网络和配方图注意力网络,结合化学结构信息,计算物质组分关联矩阵信息中各物质之间的组合得分,以组成新配方,提高了新配方的生成效率。
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公开(公告)号:CN119643584A
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202510178324.2
申请日:2025-02-18
Applicant: 季华实验室
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明公开了一种基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备,涉及晶圆检测技术领域,其中基于布里渊光谱的晶圆检测方法包括以下步骤:根据布里渊光谱信息获取实测半高宽和实测频移;根据实测半高宽、实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度,晶格排列规则度用于表征晶圆对应检测位置点处是否存在晶体缺陷。本申请的基于布里渊光谱的晶圆检测方法能解决现有的晶圆检测技术无法实现对晶圆的晶体缺陷进行无损快速准确检测的问题,能无损、快速且准确地检测晶圆的晶体缺陷。
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公开(公告)号:CN119395001A
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202510000423.1
申请日:2025-01-02
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请公开了一种光纤探头、光纤LIBS远程探测系统及方法,涉及激光探测技术领域,光纤探头包括:外壳,以及沿激光入射方向依次设置在外壳内的准直镜、聚焦镜和二次曲面反射腔;二次曲面反射腔包括上端面和下端面,下端面与样品接触,上端面与聚焦镜接触;下端面的中心为聚焦镜的焦点,且聚焦镜的焦点与二次曲面反射腔的第一焦点重合;在光谱激发阶段,激光入射后经准直镜准直,由聚焦镜聚焦在样品表面,激发产生等离子体,二次曲面反射腔对等离子体产生空间约束;在光谱收集阶段,等离子体产生的辐射光直接被聚焦镜会聚收集,或经过二次曲面反射腔被反射至聚焦镜会聚收集。本申请提高了光纤LIBS探测的灵敏度,且实现了自动聚焦。
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公开(公告)号:CN118072857B
公开(公告)日:2024-07-16
申请号:CN202410464224.1
申请日:2024-04-17
Applicant: 季华实验室
IPC: G16C20/30 , G06F18/24 , G06N3/042 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G16C20/20 , G16C20/70 , G16C20/90
Abstract: 本申请属于配方搭配的技术领域,公开了一种新配方生成方法、装置、电子设备及存储介质,该方法包括:获取配方数据库的物质组分关联矩阵信息,通过分子指纹算法和组分图注意力网络,基于各组分的分子结构信息,构建组分表示矩阵,根据配方图注意力网络,结合组分表示矩阵,对物质组分关联矩阵信息进行降维,得到最佳物质表示矩阵,根据最佳物质表示矩阵获取各物质之间的组合得分,并根据组合得分得到新配方,通过分子指纹算法、组分图注意力网络和配方图注意力网络,结合化学结构信息,计算物质组分关联矩阵信息中各物质之间的组合得分,以组成新配方,提高了新配方的生成效率。
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