一种新型晶圆减薄方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105702563B

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201610064634.2

    申请日:2016-01-29

    Abstract: 一种新型晶圆减薄方法,将聚四氟乙稀加入聚酰亚氨溶液,滚动搅拌均匀,形成涂覆液;涂覆液涂覆于原始晶圆片正面,覆盖原始晶圆片表面和原始晶圆片正面与边缘之间的倒角,形成覆盖层;或将聚四氟乙稀胶膜或UV胶膜覆盖于原始晶圆片正面,低温烘烤,使胶膜覆盖原始晶圆片正面以及原始晶圆片正面与边缘之间的倒角,形成覆盖层;按现有工艺对原始晶圆片进行粗磨、和细磨;光照,使覆盖层裂化;等离子清洗去除裂化的覆盖层,即得减薄后的晶圆。该减薄方法能避免减薄过程对晶圆表面的二次污染,提高晶圆减薄质量和测试良率,而且不需要用大量的水进行清洗,不仅节约了大量水资源,并为后续压焊工艺提供了良好的基础。

    一种基于远程荧光粉激发的HV-COBLED光源

    公开(公告)号:CN104517949A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201410819158.1

    申请日:2014-12-25

    CPC classification number: H01L2224/48091 H01L2224/48137 H01L2924/00014

    Abstract: 一种基于远程荧光粉激发的HV-COB LED光源,包括基板和远程荧光粉激发膜;基板上有中部为方形碗杯的围坝,围坝上对称有两个缺口;基板与围坝之间有两块焊盘,焊盘从缺口处露出;碗杯内平行设有与两块焊盘相连的多条LED芯片组件,一条LED芯片组件由数量相同的高压红光LED芯片和高压蓝光LED芯片间隔串联而成;一个高压红光LED芯片周围相邻的均为高压蓝光LED芯片,一个高压蓝光LED芯片周围相邻的均为高压红光LED芯片;碗杯内填充有塑封体。该光源采用相分离的发光晶片与荧光粉,实现远程激发白光,减少荧光粉激发单色光产生的热量,降低芯片的温度,缓解芯片的老化;避免荧光粉的热猝灭性,降低光衰,提高光效。

    带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件生产方法

    公开(公告)号:CN103579012A

    公开(公告)日:2014-02-12

    申请号:CN201310508832.X

    申请日:2013-10-24

    Abstract: 一种带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件生产方法,带凸点晶圆减薄划片;裸铜框架涂光刻胶;在裸铜框架上形成第二凹槽;涂第一钝化层,第二凹槽底部的第一钝化层刻蚀出UBM1窗口;高频溅射复合金属层;使芯片凸点进入第二凹槽并连接UBM1层;塑封后固化;磨削框架背面涂第二钝化层,蚀刻凹槽;涂覆第三钝化层;刻蚀第二图案凹槽;溅射第一金属层,蚀刻出第四凹槽;第三钝化层表面涂第四钝化层,刻蚀出第五凹槽;第五凹槽内均溅射形成UBM2层;植球、打印、切割分离和测试,得到带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件。该生产方法可以替代基板生产的CPS,实现IC芯片灵活应用于引线框架的CSP封装;减小框架的厚度,满足薄型封装要求。

    基于氧化铍陶瓷基板的COB式LED封装件及生产方法

    公开(公告)号:CN104332550B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201410596571.6

    申请日:2014-10-30

    CPC classification number: H01L2224/48091 H01L2224/48137 H01L2924/00014

    Abstract: 本发明提供了一种基于氧化铍陶瓷基板的COB式LED封装件及生产方法,封装件包括氧化铍陶瓷板制成的基板,基板上有围坝和对称设置的两个电极;基板固晶区内设有由发光二极管组成的多条互不交叉的串联电路,每条串联电路两端分别与两个电极相连,围坝内固封有荧光粉胶。通过清洗氧化铍陶瓷板、丝网印刷电极、高温烧结、制作围坝、烘烤除湿、等离子清洗、粘贴LED芯片、烘烤、键合、烘烤、围坝内点荧光粉胶并后固化、落料、分光测试、包装、入库等工序,制得基于氧化铍陶瓷基板的COB式LED封装件。该LED封装件将氧化铍基板应用于LED中,散热性能良好,能够实现高功率LED封装产品体积小、重量轻、可靠性高的封装要求。

    带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件生产方法

    公开(公告)号:CN103579012B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310508832.X

    申请日:2013-10-24

    CPC classification number: H01L2224/16225 H01L2924/181 H01L2924/00012

    Abstract: 一种带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件生产方法,带凸点晶圆减薄划片;裸铜框架涂光刻胶;在裸铜框架上形成第二凹槽;涂第一钝化层,第二凹槽底部的第一钝化层刻蚀出UBM1窗口;高频溅射复合金属层;使芯片凸点进入第二凹槽并连接UBM1层;塑封后固化;磨削框架背面涂第二钝化层,蚀刻凹槽;涂覆第三钝化层;刻蚀第二图案凹槽;溅射第一金属层,蚀刻出第四凹槽;第三钝化层表面涂第四钝化层,刻蚀出第五凹槽;第五凹槽内均溅射形成UBM2层;植球、打印、切割分离和测试,得到带焊球面阵列四面扁平无引脚封装件。该生产方法可以替代基板生产的CPS,实现IC芯片灵活应用于引线框架的CSP封装;减小框架的厚度,满足薄型封装要求。

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