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公开(公告)号：CN109093127B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201811117136.5
申请日：2018-09-25
Applicant: 中国人民解放军陆军装甲兵学院 , 大连理工大学
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明提供基于均匀液滴逐一雾化法制备球形金属粉末的装置及方法。装置包括：壳体、设置于壳体内的坩埚和收集仓，其特征在于：设置在粉末收集区的转盘为镶嵌式结构，选择导热性较差的材料转盘的基体部分，选择与液滴的润湿角小于90°的金属材料，镶嵌进主体部分作为转盘的雾化平面，雾化平面上设有同心圆凹槽，转盘内设有通气孔。本发明还公开了制备方法，结合脉冲微孔喷射和离心雾化法，配合转盘结构并对转盘表面进行感应加热，从而使金属液突破了传统熔融金属的分裂模式，实现了只有当雾化介质为水溶液或有机溶液时才能实现的纤维状分裂方式，制备出满足要求的高熔点金属粉末，粒径可控，圆球度高、无卫星滴、流动铺展性良好，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN109047785A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201811116484.0
申请日：2018-09-25
Applicant: 大连理工大学 , 中国人民解放军陆军装甲兵学院
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明提供一种逐液滴离心雾化法高效制备低熔点球形金属粉末的装置及方法。装置包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：转盘为镶嵌式结构，主体选择导热性较差的材料，雾化平面选择与液滴的润湿角小于90°的金属材料，在转盘轴线上增加通气孔提高圆盘转动时的稳定性，转盘外设有感应加热线圈。本发明结合脉冲微孔喷射法和离心雾化法，配合转盘结构并对转盘表面感应加热，从而使金属液突破了传统熔融金属的分裂模式，实现了只有当雾化介质为水溶液或有机溶液时才能实现的纤维状分裂方式，在超微细化方面取得飞跃进步，制得圆球度高、有良好流动性和铺展性、无卫星滴的符合使用要求的低熔点超微细金属球形粉末。
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公开(公告)号：CN105655260A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610154091.3
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48
CPC classification number: H01L21/4825 , H01L21/4853
Abstract: 本发明公开了一种微互连凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括腔体、坩埚、压电陶瓷、传动杆和加热带等，坩埚的底部设有中心孔，坩埚底部还连有设有喷射孔的薄片，机械泵和扩散泵安装在腔体侧部且与坩埚及腔体相连；其特征在于：坩埚通过三维运动控制器与腔体上部相连，腔体中部两侧还设有腔体温度控制器；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备微互连凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，可实现液滴成分均匀、尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，避免基板损烧或发生变形，可自动化生产等优点。
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公开(公告)号：CN109047786B
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN201811117142.0
申请日：2018-09-25
Applicant: 大连理工大学 , 中国人民解放军陆军装甲兵学院
Abstract: 本发明提供一种纤维状分裂模式下高效制备3D打印用球形金属粉末的装置及方法。装置包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：设置在粉末收集区的转盘为镶嵌式结构，选择导热性较差的材料转盘的基体部分，选择与液滴的润湿角小于90°的金属材料，镶嵌进主体部分作为转盘的雾化平面，转盘内设有通气孔。本发明还公开了制备3D打印用球形金属粉末的方法，主要结合电磁力切割毛细管射流制备微粒子技术和离心雾化法两种方法，突破了传统金属分裂模式，使熔融金属呈现出纤维状分裂，从而能够制备出粒径分布区间窄、圆球度高、流动性好、铺展性优良且尺寸均匀可控、无卫星滴的3D打印专用的球形金属粉末，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN109093128A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201811119596.1
申请日：2018-09-25
Applicant: 大连理工大学 , 中国人民解放军陆军装甲兵学院
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明提供一种逐液滴雾化法制备超细低熔点球形金属粉末的装置及方法。装置包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于，设置在粉末收集区的转盘为镶嵌式结构，选择导热性较差的材料转盘的基体部分，选择与液滴的润湿角小于90°的金属材料，镶嵌进主体部分作为转盘的雾化平面，转盘内设有通气孔。本发明还公开了制备方法，结合脉冲微孔喷射法和离心雾化法，配合转盘结构并对转盘表面感应加热，从而使金属液突破了传统熔融金属的分裂模式，实现了只有当雾化介质为水溶液或有机溶液时才能实现的纤维状分裂方式，在超微细化方面取得飞跃进步，制得圆球度高、有良好流动性和铺展性、无卫星滴的符合使用要求的低熔点超微细金属球形粉末。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109047786A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201811117142.0
申请日：2018-09-25
Applicant: 大连理工大学 , 中国人民解放军陆军装甲兵学院
Abstract: 本发明提供一种纤维状分裂模式下高效制备3D打印用球形金属粉末的装置及方法。装置包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：设置在粉末收集区的转盘为镶嵌式结构，选择导热性较差的材料转盘的基体部分，选择与液滴的润湿角小于90°的金属材料，镶嵌进主体部分作为转盘的雾化平面，转盘内设有通气孔。本发明还公开了制备3D打印用球形金属粉末的方法，主要结合电磁力切割毛细管射流制备微粒子技术和离心雾化法两种方法，突破了传统金属分裂模式，使熔融金属呈现出纤维状分裂，从而能够制备出粒径分布区间窄、圆球度高、流动性好、铺展性优良且尺寸均匀可控、无卫星滴的3D打印专用的球形金属粉末，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN105826207B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201610153647.7
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种核壳结构凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括并排设置在腔体上部的核心液滴喷射装置和外层液滴喷射装置，核心液滴喷射装置和外层液滴喷射装置的坩埚分别通过各自的三维运动控制器与腔体上部相连，再通过压电陶瓷、传动杆和加热带等的配合喷射液滴；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备核壳结构凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，实现焊球制备和凸点制备一次完成，尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，可自动化生产等优点。
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公开(公告)号：CN105655260B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201610154091.3
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种微互连凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括腔体、坩埚、压电陶瓷、传动杆和加热带等，坩埚的底部设有中心孔，坩埚底部还连有设有喷射孔的薄片，机械泵和扩散泵安装在腔体侧部且与坩埚及腔体相连；其特征在于：坩埚通过三维运动控制器与腔体上部相连，腔体中部两侧还设有腔体温度控制器；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备微互连凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，可实现液滴成分均匀、尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，避免基板损烧或发生变形，可自动化生产等优点。
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公开(公告)号：CN104525961A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510044752.2
申请日：2015-01-28
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超细高熔点球形金属粉末的装置，包括壳体、设置于壳体的腔室内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：坩埚内部设有多个容积相同的熔池，熔池底部固定有与腔室相连通的带小孔的垫片；传动杆包括与熔池数量相同的传动支杆，传动支杆的底部与带小孔的垫片上的圆孔对中；坩埚内部设有热电偶，坩埚外部设有感应加热器；粉末收集区包括设置在腔室底部的与电机相连的用于雾化金属液滴的旋转圆盘，腔室底部还设有收集槽。本发明还公开了高效制备超细高熔点球形金属粉末的方法，主要结合脉冲微孔喷射法和离心雾化法，能够制备粒径分布区间窄、圆球度高、有良好铺展性和流动性、生产效率高，符合3D打印使用要求的超细球形金属粉末。
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公开(公告)号：CN104493186A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410697249.2
申请日：2014-11-26
Applicant: 大连理工大学
IPC: B22F9/08
Abstract: 本发明公开了一种均一球形微粒子的制备装置及其制备方法，所述装置包括坩埚、感应加热器、感应线圈、集中器、机械泵、扩散泵、腔体、高速摄影机和收集器。本发明设计了一种利用电磁力切割毛细管射流高效制备均一球形微粒子的装置，坩埚中熔化的金属材料在压力的作用下，通过坩埚底部的小孔射出，形成毛细管射流，同时，感应线圈产生电磁力，将该电磁力经集中器作用于毛细管射流上，毛细管射流在表面张力和电磁力扰动作用下，逐渐形成腊肠式液滴串，最终离散成尺寸大小一致、间距相等的液滴，经过无容器凝固过程形成金属粒子，用这种方法生产的金属粒子粒径均一(粒径相对偏差小于1.8％)、圆球度高，且避免了凝固过程中坩埚对制备材料的污染。
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