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公开(公告)号：CN104550990A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510045330.7
申请日：2015-01-28
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种制备3D打印用超细球形高熔点金属粉末的装置，包括壳体、设置于壳体内的坩埚和设置于壳体下部的收集仓，其特征在于：坩埚内部设有热电偶，坩埚外部设有加热带；收集仓通过支架与壳体相固定，壳体和收集仓之间设有环形降落管，收集仓腔体内、与环形降落管下端相对的位置设有离心盘，离心盘由支撑柱支撑，收集仓底部设有收集槽。本发明还公开了制备3D打印用超细球形高熔点金属粉末的方法，通过脉冲微孔喷射法与离心雾化法相结合的方法。本发明能够高效制备出满足要求的高熔点金属粉末，粒径可控、粒径分布区间窄，圆球度高、无卫星滴、流动性与铺展性良好，且生产效率高、成本低，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN105671473B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201610157120.1
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: C23C4/123 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种填充垂直通孔的方法及装置，包括金属液喷射装置和填充工作区，其特征在于：坩埚是以中心线为轴的圆筒形结构，坩埚通过连接有三维运动控制器的坩埚支架与腔体上部相连，腔体中部两侧还设有维持腔体温度的腔体温度控制器；填充工作区包括用于承接金属液喷射装置喷射出的均匀液滴或稳流液线的衬底和用于放置衬底的衬底承载部。本发明还公开了应用上述装置填充垂直通孔的方法。本发明通过金属液喷射装置和填充工作区的工作平台的协同配合，可形成均一液滴且频率可控，也可以形成稳流液线，实现垂直通孔的金属化填充，尺寸精度高、气孔率低、填充效率高、成本低、工艺简单、可自动化生产。
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公开(公告)号：CN105655260A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610154091.3
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48
CPC classification number: H01L21/4825 , H01L21/4853
Abstract: 本发明公开了一种微互连凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括腔体、坩埚、压电陶瓷、传动杆和加热带等，坩埚的底部设有中心孔，坩埚底部还连有设有喷射孔的薄片，机械泵和扩散泵安装在腔体侧部且与坩埚及腔体相连；其特征在于：坩埚通过三维运动控制器与腔体上部相连，腔体中部两侧还设有腔体温度控制器；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备微互连凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，可实现液滴成分均匀、尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，避免基板损烧或发生变形，可自动化生产等优点。
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公开(公告)号：CN105826207B
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201610153647.7
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48 , H01L21/768
Abstract: 本发明公开了一种核壳结构凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括并排设置在腔体上部的核心液滴喷射装置和外层液滴喷射装置，核心液滴喷射装置和外层液滴喷射装置的坩埚分别通过各自的三维运动控制器与腔体上部相连，再通过压电陶瓷、传动杆和加热带等的配合喷射液滴；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备核壳结构凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，实现焊球制备和凸点制备一次完成，尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，可自动化生产等优点。
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公开(公告)号：CN105655260B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201610154091.3
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/48
Abstract: 本发明公开了一种微互连凸点制备装置，包括液滴喷射装置和凸点形成装置，所述液滴喷射装置包括腔体、坩埚、压电陶瓷、传动杆和加热带等，坩埚的底部设有中心孔，坩埚底部还连有设有喷射孔的薄片，机械泵和扩散泵安装在腔体侧部且与坩埚及腔体相连；其特征在于：坩埚通过三维运动控制器与腔体上部相连，腔体中部两侧还设有腔体温度控制器；凸点形成装置包括用于承接液滴喷射装置喷射出的液滴的基板和基板承载部。本发明还公开了应用上述装置制备微互连凸点的方法。本发明可制备均一液滴且频率可控，可实现液滴成分均匀、尺寸精度高，具有结构简单实用性强，制备工艺温度低，避免基板损烧或发生变形，可自动化生产等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104588673B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201510044637.5
申请日：2015-01-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种高效制备金属球形超细粉体的装置，包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：坩埚内部设有热电偶，坩埚外部设有感应加热器，坩埚底部设有带小孔的喷嘴，喷嘴下方设有集中器，集中器的外周设有感应线圈；粉末收集区包括设置在壳体底部的收集盘和设置于收集盘上方的旋转圆盘。本发明还公开了制备金属球形超细粉体的方法，主要结合电磁力切割毛细管射流制备微粒子技术和离心雾化法两种方法，从而能够制备出粒径分布区间窄、圆球度高、流动性好、铺展性优良且尺寸均匀可控、无卫星滴的符合3D打印使用要求的金属粉末，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN105609450A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610154070.1
申请日：2016-03-17
Applicant: 大连理工大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/768
CPC classification number: H01L21/67011 , H01L21/76877
Abstract: 本发明公开了一种三维封装垂直通孔的填充装置，包括金属液喷射装置和填充工作区，其特征在于：坩埚为内外嵌套圆环式结构，填充材料填入到内容纳腔与外容纳腔之间的腔内，通过与压电陶瓷相连的传动杆带动压片挤压中心孔内的金属液使金属液从喷射孔喷出；坩埚通过连接有三维运动控制器的坩埚支架与腔体上部相连，使坩埚运动自如，与填充工作区的衬底配合，完成填充。本发明还公开了应用上述装置填充三维封装垂直通孔的方法。本发明通过金属液喷射装置和填充工作区的工作平台的协同配合，可形成均一液滴且频率可控，也可以形成稳流液线，实现三维封装垂直通孔的金属化填充，尺寸精度高、气孔率低、填充效率高、成本低、工艺简单、可自动化生产。
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公开(公告)号：CN104588673A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510044637.5
申请日：2015-01-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种高效制备金属球形超细粉体的装置，包括壳体、设置于壳体内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：坩埚内部设有热电偶，坩埚外部设有感应加热器，坩埚底部设有带小孔的喷嘴，喷嘴下方设有集中器，集中器的外周设有感应线圈；粉末收集区包括设置在壳体底部的收集盘和设置于收集盘上方的旋转圆盘。本发明还公开了制备金属球形超细粉体的方法，主要结合电磁力切割毛细管射流制备微粒子技术和离心雾化法两种方法，从而能够制备出粒径分布区间窄、圆球度高、流动性好、铺展性优良且尺寸均匀可控、无卫星滴的符合3D打印使用要求的金属粉末，适宜工业化生产。
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公开(公告)号：CN104525961A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201510044752.2
申请日：2015-01-28
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超细高熔点球形金属粉末的装置，包括壳体、设置于壳体的腔室内的坩埚和粉末收集区，其特征在于：坩埚内部设有多个容积相同的熔池，熔池底部固定有与腔室相连通的带小孔的垫片；传动杆包括与熔池数量相同的传动支杆，传动支杆的底部与带小孔的垫片上的圆孔对中；坩埚内部设有热电偶，坩埚外部设有感应加热器；粉末收集区包括设置在腔室底部的与电机相连的用于雾化金属液滴的旋转圆盘，腔室底部还设有收集槽。本发明还公开了高效制备超细高熔点球形金属粉末的方法，主要结合脉冲微孔喷射法和离心雾化法，能够制备粒径分布区间窄、圆球度高、有良好铺展性和流动性、生产效率高，符合3D打印使用要求的超细球形金属粉末。
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公开(公告)号：CN104588674B
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201510044801.2
申请日：2015-01-28
Applicant: 大连理工大学
IPC: B22F9/10
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超细球形金属粉末的装置，包括壳体、坩埚和粉末收集区，其特征在于：坩埚是内外嵌套圆环式结构，坩埚的内容纳腔的底部与坩埚的外容纳腔的底部设有相贯通的中心孔，内容纳腔的底部与外容纳腔的底部之间设有用于熔融金属流通的空间，内容纳腔的中心孔上方设有压片，传动杆与压片接触；外容纳腔的中心孔底部设有带孔垫片；粉末收集区包括设置在壳体底部的收集盘和设置于收集盘上方的与电机相连的旋转圆盘。本发明还公开了制备超细球形金属粉末的方法，主要结合脉冲微孔喷射法和离心雾化法两种方法，能够制备粒径分布区间窄、圆球度高、有良好铺展性和流动性、生产效率高的符合使用要求的超细球形金属粉末。
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