一种微尺度ITO电极的加工装置和方法

    公开(公告)号:CN110164630A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201910511569.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本发明公开了一种微尺度ITO电极的加工装置和方法,属于微电极加工技术领域,该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元;干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理;ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片;刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀。基于微尺度ITO电极的加工方法,能够刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极,并且使用的刻蚀液量极少,有效的避免了试剂浪费和环境污染。

    一种自供能水质在线监测装置及方法

    公开(公告)号:CN109239296A

    公开(公告)日:2019-01-18

    申请号:CN201811206818.3

    申请日:2018-10-17

    Abstract: 本发明涉及一种自供能水质在线监测装置及方法。本发明装置包括摩擦纳米发电模块、能量储存与供应模块、水质监测模块、以及信号处理及传送模块;其中摩擦纳米发电模块、能量储存与供应模块以及信号处理及传送模块密封包裹在能够漂浮于水面上浮子内,水质监测模块通过释放和回收可控的中空防水绳与浮子相连,中空防水绳内部通有电线,分别将水质监测模块与能量储存与供应模块、信号处理及传送模块相连,分别实现电能的传输与检测信号的传送;且水质监测模块通过调整中空防水绳释放的长度来调节其沉没于待检测水中的深度。本发明能够广泛检测、实时传输检测数据,对水体的污染防治做出科学的报警预测。

    一种尺寸范围广的颗粒检测装置

    公开(公告)号:CN112378827B

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202011330230.6

    申请日:2020-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种尺寸范围广的颗粒检测装置,属于颗粒检测技术领域,该装置包括对颗粒进行检测的检测芯片、对所述检测芯片检测颗粒后产生的电信号进行放大的信号放大模块、对所述信号放大模块放大后的信号进行采集并对不同大小的颗粒分别进行计数的信号采集与分析模块;检测芯片通过ITO导电玻璃衬底与PDMS微控流芯片键合构成;ITO玻璃衬底设置有作为驱动电极的ITO驱动电极组和作为检测电级的ITO检测电极组;ITO驱动电极组通过接口Ⅰ与外部电源相连接;基于阻抗脉冲传感检测技术,利用流动惯性升力,同时采用颗粒“穿过检测口”和“不穿过检测口”两种模式,实现了对宽尺寸范围颗粒的精确检测,使用本发明提供的装置,能够精确检测到0.5~50μm区间范围内的颗粒。

    一种微尺度ITO电极的加工装置和方法

    公开(公告)号:CN110164630B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN201910511569.7

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本发明公开了一种微尺度ITO电极的加工装置和方法,属于微电极加工技术领域,该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元;干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理;ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片;刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀。基于微尺度ITO电极的加工方法,能够刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极,并且使用的刻蚀液量极少,有效的避免了试剂浪费和环境污染。

    一种尺寸范围广的颗粒检测装置

    公开(公告)号:CN112378827A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202011330230.6

    申请日:2020-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种尺寸范围广的颗粒检测装置,属于颗粒检测技术领域,该装置包括对颗粒进行检测的检测芯片、对所述检测芯片检测颗粒后产生的电信号进行放大的信号放大模块、对所述信号放大模块放大后的信号进行采集并对不同大小的颗粒分别进行计数的信号采集与分析模块;检测芯片通过ITO导电玻璃衬底与PDMS微控流芯片键合构成;ITO玻璃衬底设置有作为驱动电极的ITO驱动电极组和作为检测电级的ITO检测电极组;ITO驱动电极组通过接口Ⅰ与外部电源相连接;基于阻抗脉冲传感检测技术,利用流动惯性升力,同时采用颗粒“穿过检测口”和“不穿过检测口”两种模式,实现了对宽尺寸范围颗粒的精确检测,使用本发明提供的装置,能够精确检测到0.5~50μm区间范围内的颗粒。

    一种基于移相技术的油液污染物多参数一体化检测装置

    公开(公告)号:CN211235639U

    公开(公告)日:2020-08-11

    申请号:CN201921423337.8

    申请日:2019-08-29

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于移相技术的油液污染物多参数一体化检测装置。现有技术无法对未知油液污染物进行区分检测,只能区分检测已知的一种或两种油液污染物,不能满足实际检测应用需求。本实用新型能够对同一未知油液污染物同时进行电感检测和电容检测,并得到该污染物对应电感输出信号的电感输出曲线和对应电容输出信号的电容输出曲线,通过对其电感输出曲线和电容输出曲线进行综合分析,即可实现对未知油液污染物的区分检测与计数。本实用新型中电感检测和电容检测检测对象相同,且同时进行,不存在时差。本实用新型降低了油液污染物检测成本,检测装置简单,检测结果可靠,满足实际检测应用需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种自供能水质在线监测装置

    公开(公告)号:CN209117669U

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201821679827.X

    申请日:2018-10-17

    Abstract: 本实用新型涉及一种自供能水质在线监测装置。本实用新型装置包括摩擦纳米发电模块、能量储存与供应模块、水质监测模块、以及信号处理及传送模块;其中摩擦纳米发电模块、能量储存与供应模块以及信号处理及传送模块密封包裹在能够漂浮于水面上浮子内,水质监测模块通过释放和回收可控的中空防水绳与浮子相连,中空防水绳内部通有电线,分别将水质监测模块与能量储存与供应模块、信号处理及传送模块相连,分别实现电能的传输与检测信号的传送;且水质监测模块通过调整中空防水绳释放的长度来调节其沉没于待检测水中的深度。本实用新型能够广泛检测、实时传输检测数据,对水体的污染防治做出科学的报警预测。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种尺寸范围广的颗粒检测装置

    公开(公告)号:CN214121927U

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202022750509.1

    申请日:2020-11-24

    Abstract: 本实用新型公开了一种尺寸范围广的颗粒检测装置,属于颗粒检测技术领域,该装置包括对颗粒进行检测的检测芯片、对所述检测芯片检测颗粒后产生的电信号进行放大的信号放大模块、对所述信号放大模块放大后的信号进行采集并对不同大小的颗粒分别进行计数的信号采集与分析模块;检测芯片通过ITO导电玻璃衬底与PDMS微流控芯片键合构成;ITO导电玻璃衬底设置有作为驱动电极的ITO驱动电极组和作为检测电级的ITO检测电极组;ITO驱动电极组通过接口Ⅰ与外部电源相连接;基于阻抗脉冲传感检测技术,利用流动惯性升力,同时采用颗粒“穿过检测口”和“不穿过检测口”两种模式,实现了对宽尺寸范围颗粒的精确检测,能够精确检测到0.5~50μm区间范围内的颗粒。

    一种微尺度ITO电极的加工装置

    公开(公告)号:CN209766123U

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201920888976.5

    申请日:2019-06-13

    Abstract: 本实用新型公开了一种微尺度ITO电极的加工装置,属于微电极加工技术领域,该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元;干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理;ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片;刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀,该装置能够实现在ITO玻璃片上刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极;通过LED灯珠亮灭实时监控刻蚀进程,避免刻蚀不足和刻蚀过度等问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种油液污染物无接触式电容检测装置

    公开(公告)号:CN212008398U

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202020418008.0

    申请日:2020-03-27

    Abstract: 本实用新型提供一种油液污染物无接触式电容检测装置,包括动力单元、无接触式电容检测芯片、分析单元、显示单元;所述动力单元驱动待测油液流过所述无接触式电容检测芯片的检测通道;所述无接触式电容检测芯片对油液污染物进行电容检测并产生表征油液污染物的电容输出信号;所述分析单元提供高频正弦波激励信号,对电容输出信号进行采集与分析处理并产生表征油液污染物的电容输出曲线;所述显示单元用于实时显示表征油液污染物的电容输出曲线。本实用新型基于无接触式电容检测芯片进行油液污染物电容检测,加工成本低、重复性好、不容易被污染。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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