公开(公告)号：CN110164630A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201910511569.7

申请日：2019-06-13

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 刘志坚 ,  王赛杰 ,  陈良 ,  殷艺 ,  苑海超 ,  高跃峰 ,  潘新祥

IPC: H01B13/00 ,  H01B13/30

Abstract: 本发明公开了一种微尺度ITO电极的加工装置和方法，属于微电极加工技术领域，该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元；干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理；ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片；刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀。基于微尺度ITO电极的加工方法，能够刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极，并且使用的刻蚀液量极少，有效的避免了试剂浪费和环境污染。

公开(公告)号：CN110164630B

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN201910511569.7

申请日：2019-06-13

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 刘志坚 ,  王赛杰 ,  陈良 ,  殷艺 ,  苑海超 ,  高跃峰 ,  潘新祥

IPC: H01B13/00 ,  H01B13/30

Abstract: 本发明公开了一种微尺度ITO电极的加工装置和方法，属于微电极加工技术领域，该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元；干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理；ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片；刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀。基于微尺度ITO电极的加工方法，能够刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极，并且使用的刻蚀液量极少，有效的避免了试剂浪费和环境污染。

公开(公告)号：CN111272835A

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：CN202010230275.X

申请日：2020-03-27

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 刘志坚 ,  刘连坤 ,  苑海超 ,  王成法 ,  高跃峰 ,  于可真 ,  陈良 ,  潘新祥

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明提供一种油液污染物无接触式电容检测装置及方法，装置包括动力单元、无接触式电容检测芯片、分析单元、显示单元；所述动力单元驱动待测油液流过所述无接触式电容检测芯片的检测通道；所述无接触式电容检测芯片对油液污染物进行电容检测并产生表征油液污染物的电容输出信号；所述分析单元提供高频正弦波激励信号，对电容输出信号进行采集与分析处理并产生表征油液污染物的电容输出曲线；所述显示单元用于实时显示表征油液污染物的电容输出曲线。本发明基于无接触式电容检测芯片进行油液污染物电容检测，加工成本低、重复性好、不容易被污染。

公开(公告)号：CN211235639U

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201921423337.8

申请日：2019-08-29

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 陈良 ,  殷艺 ,  刘连坤 ,  郑婕 ,  王赛杰 ,  曾武 ,  刘志坚

IPC: G01N27/22

Abstract: 本实用新型涉及一种基于移相技术的油液污染物多参数一体化检测装置。现有技术无法对未知油液污染物进行区分检测，只能区分检测已知的一种或两种油液污染物，不能满足实际检测应用需求。本实用新型能够对同一未知油液污染物同时进行电感检测和电容检测，并得到该污染物对应电感输出信号的电感输出曲线和对应电容输出信号的电容输出曲线，通过对其电感输出曲线和电容输出曲线进行综合分析，即可实现对未知油液污染物的区分检测与计数。本实用新型中电感检测和电容检测检测对象相同，且同时进行，不存在时差。本实用新型降低了油液污染物检测成本，检测装置简单，检测结果可靠，满足实际检测应用需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209766123U

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201920888976.5

申请日：2019-06-13

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 王赛杰 ,  殷艺 ,  陈良 ,  马蕊 ,  刘连坤 ,  武森 ,  刘志坚

IPC: H01B13/00 ,  H01B13/30

Abstract: 本实用新型公开了一种微尺度ITO电极的加工装置，属于微电极加工技术领域，该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元；干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理；ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片；刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀，该装置能够实现在ITO玻璃片上刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极；通过LED灯珠亮灭实时监控刻蚀进程，避免刻蚀不足和刻蚀过度等问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212008398U

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN202020418008.0

申请日：2020-03-27

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 陈良 ,  殷艺 ,  刘连坤 ,  高嘉铭 ,  郑婕 ,  王赛杰 ,  冯浩 ,  王楷达 ,  刘志坚

IPC: G01N27/22

Abstract: 本实用新型提供一种油液污染物无接触式电容检测装置，包括动力单元、无接触式电容检测芯片、分析单元、显示单元；所述动力单元驱动待测油液流过所述无接触式电容检测芯片的检测通道；所述无接触式电容检测芯片对油液污染物进行电容检测并产生表征油液污染物的电容输出信号；所述分析单元提供高频正弦波激励信号，对电容输出信号进行采集与分析处理并产生表征油液污染物的电容输出曲线；所述显示单元用于实时显示表征油液污染物的电容输出曲线。本实用新型基于无接触式电容检测芯片进行油液污染物电容检测，加工成本低、重复性好、不容易被污染。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利