公开(公告)号：CN209766123U

公开(公告)日：2019-12-10

申请号：CN201920888976.5

申请日：2019-06-13

Applicant: 大连海事大学

Inventor： 王赛杰 ,  殷艺 ,  陈良 ,  马蕊 ,  刘连坤 ,  武森 ,  刘志坚

IPC: H01B13/00 ,  H01B13/30

Abstract: 本实用新型公开了一种微尺度ITO电极的加工装置，属于微电极加工技术领域，该刻蚀装置包括净化模块、干燥模块、等离子清洗模块和刻蚀进程监测电路模块。清除ITO玻璃片表面有机物的有机物清除净化单元与清除ITO玻璃片和PDMS片表面的无机物的无机物清除净化单元；干燥模块将ITO玻璃片与PDMS片进行干燥处理；ITO玻璃与PDMS片经过等离子清洗模块处理之后键合得到微流控芯片；刻蚀进程监测电路模块用于监控和显示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蚀，该装置能够实现在ITO玻璃片上刻蚀最小宽度为1微米的高精度电极；通过LED灯珠亮灭实时监控刻蚀进程，避免刻蚀不足和刻蚀过度等问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利