公开(公告)号：CN104914073A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510374985.9

申请日：2015-07-01

Applicant: 复旦大学

Inventor： 陈宜方 ,  马亚琪 ,  陆冰睿 ,  刘建朋 ,  张思超

IPC: G01N21/552

Abstract: 本发明属于纳米加工技术领域，具体为一种亚波长金柱阵列局域表面等离子体共振气液传感器及其制备方法。本发明利用电子束光刻在电子束光刻胶上形成亚波长周期性的圆孔阵列，进而利用该结构作为支架结合微电镀的方法生长金立柱，在剥离工艺之后形成严格周期性且直径可调节的极高的亚波长金柱阵列。本发明纳米金立柱柱体顶部及侧壁表面产生的复合局域电磁场增强而对入射光的波长选择性吸收和反射形成的局域表面等离子体共振光谱中吸收峰的位移来实现快速精确的检测周围环境介质的折射率。这种传感器具有对环境折射率灵敏度高，比表面积大，高度直径可调节，且易于制备，尺寸小，可适用于气液环境检测。

公开(公告)号：CN104914494A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510322329.4

申请日：2015-06-13

Applicant: 复旦大学

Inventor： 陆冰睿 ,  陈宜方 ,  马亚琪 ,  张思超

IPC: G02B5/20 ,  G03F7/00

CPC classification number: G02B5/20 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明属于材料技术及纳米加工技术领域，具体为一种利用纳米压印制备带底盘金属孔洞获得全色谱结构色的方法。本发明包括：对衬底表面进行清洗和烘干处理；在衬底上旋涂光刻胶和前烘；对所述光刻胶进行纳米压印；对所述压印后的光刻胶进行紫外光固化处理；在压印后的光刻胶上淀积金属等步骤。本发明方法得到的带底盘的金属孔阵列具有可见光波段内（360纳米~810纳米）峰位可调的反常透射光谱谱峰，而体现的全色谱中单一颜色结构色，能用于CCD滤色片或彩色显示器等。