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公开(公告)号：CN111874954B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202010710054.2
申请日：2020-07-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用自牺牲模板法，对溶剂热法制备得到的模板材料Fe‑MOF纳米棒进行一步煅烧的工艺，得到了碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒异质结构。本发明的材料制备方法具有成本低、合成工艺简单、制备效率高和可规模化生产等优点。制得的异质气敏纳米材料能够对ppb级微量丙酮气体实现超灵敏、高选择性探测，不仅能够广泛应用于化工产业和实验室等气体泄漏排放的监测，同时应用于人体呼出气检测可实现对I型糖尿病的筛查，应用于环境检测和医疗健康领域。
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公开(公告)号：CN109742012A
公开(公告)日：2019-05-10
申请号：CN201811530397.X
申请日：2018-12-14
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种用于改善硅超晶格薄膜光电特性的低温微波退火方法。该方法的具体步骤如下：步骤1，退火前，对微波退火腔预先通入惰性气体，使得腔内为纯净的惰性气氛；步骤2，继续通入惰性气体作为退火气氛，将硅超晶格薄膜放入微波退火腔的中间位置，设定退火功率和退火过程中的最高温度，并设定相应时长的退火时间，开始微波退火；其中：退火过程中的最高温度为300~500℃；步骤3，微波退火结束后，待腔内温度自然冷却，得到改性优化的硅超晶格薄膜。本发明方法可靠性高，可重复性强，其用于制备改性优化的硅超晶格薄膜成品率高，为硅超晶格薄膜的低温退火提供了一种具有指导意义的方法。
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公开(公告)号：CN114324496A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111563129.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明用化学溶液法制备氧化锡核层纳米片，再结合原子层沉积技术，得到氧化锡/氧化锌核壳结构纳米片，最后采用磁控溅射生长Pt薄膜，实现了MEMS基原位生长。本发明制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产等优点。本发明构建的气敏纳米材料应用于气体传感时灵敏度大幅提升，具有高选择性，展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对部分微量气体进行检测，并且对硫化氢气体具有优异的选择性，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN110589875A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910873471.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明首先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，然后采用原子层沉积技术和水热法相结合的工艺制备支化氧化锌纳米线，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线多级异质结构。本发明的制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与MEMS工艺兼容等优点。制得的多级复合气敏纳米材料能够对1 ppm级微量硫化氢实现超灵敏、高选择性探测，同时能够对有机挥发性气体进行微量检测，进而为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN109437278A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811473286.X
申请日：2018-12-04
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: C01G3/02 , B82Y40/00 , C01G19/02 , C01P2004/01 , C01P2004/03 , C01P2004/16 , G01N27/127
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化铜-氧化锡核壳纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明氧化铜核层纳米线的制备采用合成条件极其简单的化学溶液法，结合壳层的原子层沉积技术，得到了氧化铜/氧化锡核壳结构纳米线。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产等优点。本发明构建的基于p-n异质结的核壳结构，其应用于气体传感时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间则大幅缩减，展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对微量有机挥发性气体进行检测，并且对甲醛气体具有优异的选择性，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113945611B
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202111036238.6
申请日：2021-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化铈颗粒修饰的氧化铜纳米线结构的异质气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用共价键合法，将水热法制备得到的CeO2纳米颗粒修饰于热氧化法制备得到的CuO纳米线上，进一步煅烧后得到了异质气敏材料，其合成方法成本相对较低、制备效率高和可规模化生产；本发明采用电子束光刻技术制备了氧化铈颗粒修饰的氧化铜纳米线基新型单根纳米线气体传感器件，该制备方法重复性好、成功率高，单根纳米线气体传感器件能够对ppb级微量硫化氢气体实现超快超灵敏探测，同时具有较好的选择性和一致性，能够应用于工业生产、环境监测、食品安全检测和医疗健康等领域。
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公开(公告)号：CN109742012B
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN201811530397.X
申请日：2018-12-14
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种用于改善硅超晶格薄膜光电特性的低温微波退火方法。该方法的具体步骤如下：步骤1，退火前，对微波退火腔预先通入惰性气体，使得腔内为纯净的惰性气氛；步骤2，继续通入惰性气体作为退火气氛，将硅超晶格薄膜放入微波退火腔的中间位置，设定退火功率和退火过程中的最高温度，并设定相应时长的退火时间，开始微波退火；其中：退火过程中的最高温度为300~500℃；步骤3，微波退火结束后，待腔内温度自然冷却，得到改性优化的硅超晶格薄膜。本发明方法可靠性高，可重复性强，其用于制备改性优化的硅超晶格薄膜成品率高，为硅超晶格薄膜的低温退火提供了一种具有指导意义的方法。
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公开(公告)号：CN113945611A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111036238.6
申请日：2021-09-06
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化铈颗粒修饰的氧化铜纳米线结构的异质气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用共价键合法，将水热法制备得到的CeO2纳米颗粒修饰于热氧化法制备得到的CuO纳米线上，进一步煅烧后得到了异质气敏材料，其合成方法成本相对较低、制备效率高和可规模化生产；本发明采用电子束光刻技术制备了氧化铈颗粒修饰的氧化铜纳米线基新型单根纳米线气体传感器件，该制备方法重复性好、成功率高，单根纳米线气体传感器件能够对ppb级微量硫化氢气体实现超快超灵敏探测，同时具有较好的选择性和一致性，能够应用于工业生产、环境监测、食品安全检测和医疗健康等领域。
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公开(公告)号：CN114324496B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202111563129.X
申请日：2021-12-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于Pt颗粒修饰的氧化锡/氧化锌核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明用化学溶液法制备氧化锡核层纳米片，再结合原子层沉积技术，得到氧化锡/氧化锌核壳结构纳米片，最后采用磁控溅射生长Pt薄膜，实现了MEMS基原位生长。本发明制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产等优点。本发明构建的气敏纳米材料应用于气体传感时灵敏度大幅提升，具有高选择性，展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对部分微量气体进行检测，并且对硫化氢气体具有优异的选择性，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN118518722A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410311911.X
申请日：2024-03-19
Applicant: 复旦大学义乌研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化锌‑氧化锡核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明氧化锌核层纳米片的制备采用合成条件极其简单的化学溶液法，结合壳层的原子层沉积技术，得到了氧化锌‑氧化锡核壳结构纳米片。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产等优点。本发明构建的基于异质结的核壳结构，其应用于气体传感时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间则大幅缩减，展现了更加优异的气敏性能。本发明的气敏纳米材料能够对微量有机挥发性气体进行检测，并且对乙醇气体具有优异的选择性，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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