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公开(公告)号:CN116547797A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202180078557.5
申请日:2021-10-27
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/82
Abstract: 一种非易失性存储单元包括串联、并且在顶部状态影响电极和顶部导线之间的薄膜电阻器(TFR)。TFR限制或通常减小来自顶部导线的顶部状态影响电极处的电流。这样,可以提高非易失性存储器单元耐久性,并且可以限制对与非易失性存储器单元相邻的(一个或多个)部件的不利影响。当形成与顶部导线的制造相关联的顶部导线沟槽时,TFR被附加的利用为蚀刻停止件。在需要单元对称性的一些非易失性存储器单元中,可以在底部导线与底部状态影响电极之间形成附加TFR。
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公开(公告)号:CN116472799A
公开(公告)日:2023-07-21
申请号:CN202180074882.4
申请日:2021-11-05
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 一种蘑菇型相变存储器(PCM)单元,包括位于PCM体积和底部电极之间的突出衬垫。突出衬垫从之前在PCM单元的制造期间和/或更高级IC器件的制造期间用作蚀刻停止层的层被保留。突出衬垫可以延伸超过PCM侧壁或侧边界。突出衬垫的该部分可以位于或掩埋在电介质或密封间隔件之下,并且可以增加位于PCM体积之下的突出衬垫的厚度均匀性。
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