集成非易失性存储器电极薄膜电阻器盖和蚀刻停止件

    公开(公告)号:CN116547797A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202180078557.5

    申请日:2021-10-27

    Abstract: 一种非易失性存储单元包括串联、并且在顶部状态影响电极和顶部导线之间的薄膜电阻器(TFR)。TFR限制或通常减小来自顶部导线的顶部状态影响电极处的电流。这样,可以提高非易失性存储器单元耐久性,并且可以限制对与非易失性存储器单元相邻的(一个或多个)部件的不利影响。当形成与顶部导线的制造相关联的顶部导线沟槽时,TFR被附加的利用为蚀刻停止件。在需要单元对称性的一些非易失性存储器单元中,可以在底部导线与底部状态影响电极之间形成附加TFR。

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