公开(公告)号：CN117754145A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202311871353.4

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  刘亚楠 ,  丁烨 ,  王联甫

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/352 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/064 ,  B23K26/06

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法，控制飞秒激光器输出飞秒激光光束，通过激光偏振调整系统对所述飞秒激光光束进行准直调节；控制脉冲整形器调节所述飞秒激光光束的脉冲延时和能量比参数，以对所述飞秒激光光束进行时域整形，且通过第一激光反射镜组将经过所述脉冲整形器时域整形后的所述飞秒激光光束入射到空间光调制器上；通过所述空间光调制器对所述飞秒激光光束进行空间整形，以形成时空整形飞秒激光脉冲；调整第一激光反射镜组和第二激光反射镜组的空间角度，以将所述时空整形飞秒激光脉冲聚焦到工件的表面；控制机械快门的时间和工作平台的运动，以对所述工件进行激光加工作业。

公开(公告)号：CN117655508A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202311874047.6

申请日：2023-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 杨立军 ,  王联甫 ,  丁烨

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/362 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0622 ,  B23P23/00

Abstract: 本发明涉及激光加工技术领域，并提供一种纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，纳皮秒双脉冲激光刻蚀与抛光复合加工装置，包括脉冲序列调制器、皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统、皮秒激光反射镜组、纳秒激光器、纳秒激光偏振调整系统、偏振合光镜、光路切换系统、光路调整系统和工作台，皮秒激光器和纳秒激光器分别与脉冲序列调制器电连接；皮秒激光器、皮秒激光偏振调整系统和皮秒激光反射镜组沿皮秒激光脉冲光束方向排列设置，皮秒激光反射镜组与所述偏振合光镜相对设置；偏振合光镜、光路切换系统和光路调整系统沿偏振合光镜输出的综合激光光束方向排列设置；本发明可实现不同材料的高质量和高精度的加工作业。