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公开(公告)号：CN113394334B
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202110583370.2
申请日：2021-05-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/257 , H01L41/277 , H01L41/297 , H01L41/43
Abstract: 本发明公开了一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法，属于集成电路装备制造领域。本发明解决了现有压电叠堆致动器极化方向与电场方向不能正交相容的问题。本发明通过设计图案电极及压电单元层的排列，构建正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器，该压电叠堆致动器因非180°电畴翻转产生的应变，是线性压电效应的～5倍，在20kV/cm驱动电场下，输出应变高于0.6％，远优于现有压电叠堆致动器。
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公开(公告)号：CN119687970A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411904103.0
申请日：2024-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 压电结合反馈增强式传感系统，涉及测量领域，本发明的目的是为了解决现有压电陶瓷传感器灵敏度低的问题。压电陶瓷传感器，用于感知外部压力或振动生成初始交流电信号，发送至能量收集单元；还用于接收调节后的交流电信号转换成压力或振动，根据转换后的压力或振动生成交流电信号，与初始交流电信号叠加获得增强后的交流电信号进行输出；能量收集单元，用于将接收到的初始交流电信号整流为直流电信号，发送至反馈路径单元；反馈路径单元，用于将直流电信号转换为交流电信号，并对交流电信号进行信号特性调节，获得调节后的交流电信号传递给压电陶瓷传感器。本发明提高压电陶瓷传感器灵敏度。
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公开(公告)号：CN116589278B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202310420473.6
申请日：2023-04-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C04B35/493 , C04B35/622 , C04B41/88 , A61B8/00
Abstract: 一种兼具高机电性能及温度稳定性的钽镍酸铅‑锆钛酸铅陶瓷及其制备方法和应用。本发明属于压电陶瓷领域。本发明为解决现有彩超探头应用中陶瓷高机电性能与温度稳定性难以兼得的问题。本发明陶瓷化学式为：0.24Pb(Ni1/3Ta2/3)O3‑0.33PbZrO3‑0.43PbTiO3。本发明陶瓷以 取向的钛酸钡模板通过流延法制备获得。所得陶瓷综合性能最好，此时陶瓷压电系数d33高达724pC/N，居里温度TC为188℃，在25‑75℃温度范围内性能变化低于5％，同时机电耦合系数kt,可达0.57，与压电单晶相近。钽镍酸铅的引入，解决了当前高锆酸铅含量(>30％)陶瓷中模板固溶现象严重的问题。
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公开(公告)号：CN113394334A
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202110583370.2
申请日：2021-05-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/257 , H01L41/277 , H01L41/297 , H01L41/43
Abstract: 本发明公开了一种基于正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器及其制备方法，属于集成电路装备制造领域。本发明解决了现有压电叠堆致动器极化方向与电场方向不能正交相容的问题。本发明通过设计图案电极及压电单元层的排列，构建正交极化与周期结构设计的压电叠堆致动器，该压电叠堆致动器因非180°电畴翻转产生的应变，是线性压电效应的～5倍，在20kV/cm驱动电场下，输出应变高于0.6％，远优于现有压电叠堆致动器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109553415B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201910068506.9
申请日：2019-01-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C04B35/491 , C04B35/622 , C04B41/88
Abstract: 具有高电热效应的硅掺杂锆钛酸铅非取向薄膜的制备方法，涉及微电子器件制冷领域。本发明是为了解决现有缺少采用非取向薄膜形式对集成电路进行制冷的方法的问题。将乙酸铅溶于冰乙酸溶液中并加热去除水分得溶液A，将正丙醇锆和钛酸四丁酯溶于乙二醇单甲醚中得到溶液B；将A和B混合形成絮状不溶物，溶解不溶物，再加热得到PbZr1‑xTixO3溶胶溶液，作为溶液C；将纳米二氧化硅颗粒的乙醇溶液和溶液C混合得到溶液D；将C或D涂覆在FTO基片上形成湿膜，经过烘烤形成干膜，干膜退火处理形成一层薄膜；重复镀膜，获得具有厚度的薄膜；用磁控溅射方法在薄膜上表面生长铂金电极，制备锆钛酸铅非取向薄膜。它用于制备高电热效应的薄膜。
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公开(公告)号：CN108444965A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810230348.8
申请日：2018-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 荧光光谱法测定压电材料结构相变的方法，涉及材料物性分析领域。本发明是为了解决现有的用于检测压电材料相变过程的接触式相变检测方式工艺复杂并且工作效率低的问题。将稀土离子均匀掺入压电材料中，高温烧结得到陶瓷片；将陶瓷片置于暗室环境，对陶瓷片施加不同强度的外加场并用光源激发陶瓷片，通过收集陶瓷片中的稀土离子在可见波段的发射谱信息能够得到陶瓷片中的压电材料在外加场下的结构相变；根据发射谱信息得到发射谱区间强度积分，从中提取陶瓷片中稀土离子的电偶极跃迁强度和磁偶极跃迁强度；绘制电偶极跃迁强度与磁偶极跃迁强度的比值随外加场变化曲线，曲线的峰值区间为压电材料结构发生相变的区间。它用于测定压电材料的结构相变。
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公开(公告)号：CN117383928B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202310044154.X
申请日：2023-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C04B35/468 , C04B35/626
Abstract: 一种兼具高产率和大径厚比的 取向钛酸钡模板的制备方法，它涉及一种钛酸钡模板的制备方法。本发明的目的在于提供一种大幅度提高 取向钛酸钡模板产率的同时，提升进一步提升其径厚比的方法，解决现有片状钛酸钡模板因径厚比小导致其在流延浆料中定向排布差、与基体细粉容易出现分层，以及因其产率低导致 取向织构陶瓷难以批量制备等问题。方法：一、制备大径厚比Ba6Ti17O40薄片微晶；二、制备 取向的BaTiO3片状模板；三、清洗。本发明制备的钛酸钡模板的径厚比将达到现有专利技术制备模板的2～3倍，产率将提升3～5倍。本发明可获得一种兼具高产率和大径厚比的 取向钛酸钡模板。
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公开(公告)号：CN117383928A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202310044154.X
申请日：2023-01-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C04B35/468 , C04B35/626
Abstract: 一种兼具高产率和大径厚比的 取向钛酸钡模板的制备方法，它涉及一种钛酸钡模板的制备方法。本发明的目的在于提供一种大幅度提高 取向钛酸钡模板产率的同时，提升进一步提升其径厚比的方法，解决现有片状钛酸钡模板因径厚比小导致其在流延浆料中定向排布差、与基体细粉容易出现分层，以及因其产率低导致 取向织构陶瓷难以批量制备等问题。方法：一、制备大径厚比Ba6Ti17O40薄片微晶；二、制备 取向的BaTiO3片状模板；三、清洗。本发明制备的钛酸钡模板的径厚比将达到现有专利技术制备模板的2～3倍，产率将提升3～5倍。本发明可获得一种兼具高产率和大径厚比的 取向钛酸钡模板。
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