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公开(公告)号：CN109461779A
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201811305567.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , B41M5/00
Abstract: 本发明公开了一种基于喷墨打印技术的金属网格电极制备方法。所述制备方法包括：利用喷墨打印技术在基底上制备规则的金属网格；获取多个所述金属网格中打印线条不同的间距；根据所述打印线条不同的间距确定由所述打印线条构成的金属网格电极的多个光电性能；通过调控退火处理的温度对多个所述光电性能进行优化，确定最优金属网格电极。采用本发明所提供的制备方法能够简化金属网格电极制备工艺，避免材料浪费以及环境污染。
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公开(公告)号：CN109461779B
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201811305567.4
申请日：2018-11-05
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , B41M5/00
Abstract: 本发明公开了一种基于喷墨打印技术的金属网格电极制备方法。所述制备方法包括：利用喷墨打印技术在基底上制备规则的金属网格；获取多个所述金属网格中打印线条不同的间距；根据所述打印线条不同的间距确定由所述打印线条构成的金属网格电极的多个光电性能；通过调控退火处理的温度对多个所述光电性能进行优化，确定最优金属网格电极。采用本发明所提供的制备方法能够简化金属网格电极制备工艺，避免材料浪费以及环境污染。
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公开(公告)号：CN111224020A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010035269.9
申请日：2020-01-14
Applicant: 吉林建筑大学
Abstract: 本发明公开一种基于喷墨融合的薄膜电极材料沉积方法，包括步骤1：在衬底上均匀旋转涂覆光刻胶并干燥，光刻后，在所述衬底上获得多组图案化电极结构区域；步骤2：通过压电喷涂方法在所述图案化电极结构区域上喷涂金属粒子墨水，并干燥固化得到金属电极层；其中，喷涂金属粒子墨水时，喷涂的针尖与所述衬底的距离小于等于45～50μm；喷涂电压为200～230V，喷涂速度为0.8～1.3mm/s，喷涂厚度为50～70nm；步骤3：将所述衬底置于有机溶剂中，剥离光刻胶获得边界整齐的薄膜电极。基于喷墨与光刻相结合手段，有效解决了采用喷墨印刷方法沉积薄膜电极材料时电极材料边界不光滑、不整齐问题。
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公开(公告)号：CN111223770A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010034480.9
申请日：2020-01-14
Applicant: 吉林建筑大学
IPC: H01L21/28 , H01L21/283
Abstract: 本发明涉及一种边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法，涉及微纳电子器件制备领域。解决现有技术中3D打印方法图案化薄膜电极材料边界不光滑、不整齐的技术问题。本发明提供的边缘整齐、光滑的图案化薄膜电极材料生长方法，其是采用3D打印方法与光刻技术结合薄膜电极材料生长新方法，可实现较低温度条件下制备薄膜电极，降低传统电子制备方法制备电极过程中的能耗与提高薄膜电极材料沉积效率，更为重要的一点是从根本上解决了3D打印形成的图案化薄膜电极材料边界不光滑、不整齐问题，制备得到的图案化薄膜电极材料边缘整齐、光滑(如摘要附图)，具有广阔的应用前景。
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