一种高深宽比硅通孔电子电镀原位表征芯片及制备方法

    公开(公告)号:CN118173436A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410276314.8

    申请日:2024-03-12

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明提供了一种高深宽比硅通孔电子电镀原位表征芯片及制备方法,通过使用光刻胶和干法刻蚀工艺,实现了高精度的硅通孔制备。通过在沟道表面进行化学气相沉积,形成二氧化硅绝缘层,为后续的电子电镀提供保护。磁控溅射沉积钛和铜,形成阻挡层和种子层,有助于维持导电性,实现后续的电镀工艺。通过使用阳极键合技术,将制备好的硅通孔样品与玻璃盖板结合,形成键合样品。利用多步切割的方法,将键合样品切割成两块大小相同的芯片。然后,再次进行磁控溅射,实现阻挡层和种子层的再沉积,确保内外导电层的互连性。最终获得的产品是高深宽比硅通孔电子电镀原位表征芯片。

    一种硫化物-氧化物复合纳米压力传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN109100055A

    公开(公告)日:2018-12-28

    申请号:CN201810982411.3

    申请日:2018-08-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种硫化物-氧化物复合纳米压力传感器的制备方法,涉及压力传感器。制备三维Co9S8纳米针状阵列;制备Co9S8-NiCo2O4三维纳米复合结构;制备硫化物-氧化物复合纳米压力传感器。制备好的柔性压力传感器用微小拉力仪测试受压时电容参数的变化。制备简单,反应灵敏,为柔性压力传感器在碳布上制备Co9S8-NiCo2O4三维棒针结构,然后将长有Co9S8-NiCo2O4三维棒针结构的碳布用PDMS封装制备压力传感器,该压力传感器制备简单,反应灵敏,为柔性压力传感器的制备提供了一种新型的方法。

    一种基于同种金属铁离子制备不同维度纳米材料的方法

    公开(公告)号:CN110282663B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201910723372.X

    申请日:2019-08-06

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 叶美丹 赵鑫 刘群

    Abstract: 一种基于同种金属铁离子制备不同维度纳米材料的方法,涉及电化学材料领域,通过不同浓度和比例的金属盐的配比,调控不同的反应溶剂和反应条件,通过简单水热合成的方法控制反应时间和温度,在碳布上制备FeCo2S4的一维、二维、三维基于金属铁离子的硫化物纳米结构,这三类结构形貌规则,具有较大的比表面积,性能稳定,将其作为工作电极材料应用于超级电容器中,表现出优异的电学性能;为硫化物多维结构材料的制备提供普适方法。

    多镜头立体视觉视差的计算方法

    公开(公告)号:CN105869157B

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201610177856.5

    申请日:2016-03-25

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 多镜头立体视觉视差的计算方法,属于计算机视觉领域。由初始化步骤、获取所有双目视差测距步骤、获取多镜头视差测距步骤、结束步骤组成。其中在计算最终视差时采用了加权平均的方法,可以更好地消除测距误差。从多个视点观察同一景物,以获取在不同视角下的感知图像,通过三角测量原理计算图像像素间的位置偏差来获取景物的三维信息。在基于立体平行视觉模型的基础上,给出多镜头立体视觉视差计算方法。利用立体平行视觉模型的视差计算方法,对多镜头相互之间进行视差计算,获得更为精确的成像视差,使三维重建中物体点深度信息更精确。每种布放方式中的多镜头可按照相对距离不变的比例围绕圆心旋转或按平面上一条直线为轴翻转布放镜头。

    一种对图像进行区域增强的方法

    公开(公告)号:CN105374018B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201510958177.7

    申请日:2015-12-18

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 赵鑫 雷蕴奇

    Abstract: 一种对图像进行区域增强的方法,涉及计算机数字图像处理方法。在对一幅图像的处理上设置六个阶段,分别是:初始化步骤、图像区域化分割、图像区域选择、图像区域增强、区域间边界均衡化和结束步骤。当输入一幅原始图像时,首先对图像进行初始化,然后基于meanshift理论对图像进行区域化分割,得到区域化图像后,采用用户选择和自动选择两种方式选择待增强区域,对待增强区域进行图像增强处理,最后以增强区域边界为基准做区域间边界平滑过渡处理,得到一幅整体视觉效果和谐、针对性强、有效的增强图像。

    多镜头立体视觉视差的计算方法

    公开(公告)号:CN105869157A

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201610177856.5

    申请日:2016-03-25

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: G06T2207/20228

    Abstract: 多镜头立体视觉视差的计算方法,属于计算机视觉领域。由初始化步骤、获取所有双目视差测距步骤、获取多镜头视差测距步骤、结束步骤组成。其中在计算最终视差时采用了加权平均的方法,可以更好地消除测距误差。从多个视点观察同一景物,以获取在不同视角下的感知图像,通过三角测量原理计算图像像素间的位置偏差来获取景物的三维信息。在基于立体平行视觉模型的基础上,给出多镜头立体视觉视差计算方法。利用立体平行视觉模型的视差计算方法,对多镜头相互之间进行视差计算,获得更为精确的成像视差,使三维重建中物体点深度信息更精确。每种布放方式中的多镜头可按照相对距离不变的比例围绕圆心旋转或按平面上一条直线为轴翻转布放镜头。

    一种硫化物-氧化物复合纳米压力传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN109100055B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201810982411.3

    申请日:2018-08-27

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种硫化物‑氧化物复合纳米压力传感器的制备方法,涉及压力传感器。制备三维Co9S8纳米针状阵列;制备Co9S8‑NiCo2O4三维纳米复合结构;制备硫化物‑氧化物复合纳米压力传感器。制备好的柔性压力传感器用微小拉力仪测试受压时电容参数的变化。制备简单,反应灵敏,为柔性压力传感器在碳布上制备Co9S8‑NiCo2O4三维棒针结构,然后将长有Co9S8‑NiCo2O4三维棒针结构的碳布用PDMS封装制备压力传感器,该压力传感器制备简单,反应灵敏,为柔性压力传感器的制备提供了一种新型的方法。

    一种基于同种金属铁离子制备不同维度纳米材料的方法

    公开(公告)号:CN110282663A

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201910723372.X

    申请日:2019-08-06

    Applicant: 厦门大学

    Inventor: 叶美丹 赵鑫 刘群

    Abstract: 一种基于同种金属铁离子制备不同维度纳米材料的方法,涉及电化学材料领域,通过不同浓度和比例的金属盐的配比,调控不同的反应溶剂和反应条件,通过简单水热合成的方法控制反应时间和温度,在碳布上制备FeCo2S4的一维、二维、三维基于金属铁离子的硫化物纳米结构,这三类结构形貌规则,具有较大的比表面积,性能稳定,将其作为工作电极材料应用于超级电容器中,表现出优异的电学性能;为硫化物多维结构材料的制备提供普适方法。

    一种用于车型识别的特征选取方法

    公开(公告)号:CN105469078B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201511024861.4

    申请日:2015-12-30

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种用于车型识别的特征选取方法,涉及计算机数字图像处理方法。是一种对车脸图像进行特征选取的方法,在此基础上进行的目标特征识别,可靠性较高。由初始步骤、区域划分、模板选取、灰度图像特征获取、边缘图像特征获取、结束步骤组成。对原始图像划分小区域,提出十一个模板,将模板与小区域做点的比对运算,获取特征数据。用来识别不同车型以及车的品牌,并且特征选取的背景为车脸图像,较之车牌与车灯为背景的特征选取方法更为精确。

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