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公开(公告)号：CN103342334B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310172181.1
申请日：2013-05-10
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法，涉及聚合物材料表面的微纳米加工技术领域，具体步骤是：将表面带有微图案的金属或合金材质的工具电极与聚合物工件表面相接触，并浸入工作溶液中；另在工作溶液中设置对电极和参比电极；通过电化学控制系统调控工具电极的电位使之表面发生电化学阳极氧化反应，产生金属氧化物纳米膜，再由金属氧化物纳米膜化学刻蚀聚合物材料表面；刻蚀完毕后，关闭电化学控制系统，将工具电极从聚合物材料表面移开，即可。该方法所需的设备简单、价廉，对导电或非导电材质的聚合物表面均可实现高效、高精度的批量刻蚀加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104018211A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201410269475.0
申请日：2014-06-17
Abstract: 本发明公开了一种纳米精度的电化学刻蚀加工方法，其包括如下步骤：在模板电极或工件表面固定一层氧化还原水合凝胶聚合物超薄膜；将模板电极和工件浸入工作溶液，叠放于容器底部，使模板电极表面和工件表面分别与软质聚合物超薄膜的两面保持自然紧密接触；另在容器内设辅助电极和参比电极，并与电化学控制仪相连；启动电化学控制仪，调控模板电极的电位，电化学氧化超薄膜中的电化学活性基团，由其快速地化学氧化与之接触的工件表面夺取电子，而工件表面失去的电子被超薄膜慢速地传递至模板电极，使刻蚀持续进行；刻蚀完毕后，关闭电化学控制仪，移开模板电极，即可。本方法能以纳米精度将模板电极表面微结构图案的互补结构刻蚀加工在工件表面。
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公开(公告)号：CN104018211B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410269475.0
申请日：2014-06-17
Abstract: 本发明公开了一种纳米精度的电化学刻蚀加工方法，其包括如下步骤：在模板电极或工件表面固定一层氧化还原水合凝胶聚合物超薄膜；将模板电极和工件浸入工作溶液，叠放于容器底部，使模板电极表面和工件表面分别与软质聚合物超薄膜的两面保持自然紧密接触；另在容器内设辅助电极和参比电极，并与电化学控制仪相连；启动电化学控制仪，调控模板电极的电位，电化学氧化超薄膜中的电化学活性基团，由其快速地化学氧化与之接触的工件表面夺取电子，而工件表面失去的电子被超薄膜慢速地传递至模板电极，使刻蚀持续进行；刻蚀完毕后，关闭电化学控制仪，移开模板电极，即可。本方法能以纳米精度将模板电极表面微结构图案的互补结构刻蚀加工在工件表面。
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公开(公告)号：CN106191983B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610663439.1
申请日：2016-08-12
Applicant: 厦门大学
IPC: C25F7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法，涉及金属、合金及半导体表面的纳米加工技术领域。采用中心开孔的盘式电极为工具电极，在工具电极的一面用软管包封中心孔的上端使之与流动注射泵相连；将工具电极具有纳米平整度的另一面作为工作面平放在工件上，并以厚度均一的绝缘薄膜碎片为垫片，使工具电极和工件表面形成盘状微间隙构成微流通道；用流动注射泵驱使工作液从工具电极的中心孔流入微间隙，工作液在平面所有方向上等速地流过整个盘状微间隙。本发明的微流控装置结构简单，能够同时更新微间隙内的工作溶液和移除刻蚀产物，使大面积的刻蚀加工可持续地进行。
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公开(公告)号：CN106191983A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610663439.1
申请日：2016-08-12
Applicant: 厦门大学
IPC: C25F7/00
CPC classification number: C25F7/00
Abstract: 本发明公开了一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法，涉及金属、合金及半导体表面的纳米加工技术领域。采用中心开孔的盘式电极为工具电极，在工具电极的一面用软管包封中心孔的上端使之与流动注射泵相连；将工具电极具有纳米平整度的另一面作为工作面平放在工件上，并以厚度均一的绝缘薄膜碎片为垫片，使工具电极和工件表面形成盘状微间隙构成微流通道；用流动注射泵驱使工作液从工具电极的中心孔流入微间隙，工作液在平面所有方向上等速地流过整个盘状微间隙。本发明的微流控装置结构简单，能够同时更新微间隙内的工作溶液和移除刻蚀产物，使大面积的刻蚀加工可持续地进行。
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公开(公告)号：CN103342334A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310172181.1
申请日：2013-05-10
Applicant: 厦门大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电化学刻蚀加工聚合物材料表面的方法，涉及聚合物材料表面的微纳米加工技术领域，具体步骤是：将表面带有微图案的金属或合金材质的工具电极与聚合物工件表面相接触，并浸入工作溶液中；另在工作溶液中设置对电极和参比电极；通过电化学控制系统调控工具电极的电位使之表面发生电化学阳极氧化反应，产生金属氧化物纳米膜，再由金属氧化物纳米膜化学刻蚀聚合物材料表面；刻蚀完毕后，关闭电化学控制系统，将工具电极从聚合物材料表面移开，即可。该方法所需的设备简单、价廉，对导电或非导电材质的聚合物表面均可实现高效、高精度的批量刻蚀加工。
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