公开(公告)号：CN106191983B

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201610663439.1

申请日：2016-08-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 时康 ,  吴丹 ,  郑宣 ,  王亚会 ,  张劲福 ,  田中群

IPC: C25F7/00

Abstract: 本发明公开了一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法，涉及金属、合金及半导体表面的纳米加工技术领域。采用中心开孔的盘式电极为工具电极，在工具电极的一面用软管包封中心孔的上端使之与流动注射泵相连；将工具电极具有纳米平整度的另一面作为工作面平放在工件上，并以厚度均一的绝缘薄膜碎片为垫片，使工具电极和工件表面形成盘状微间隙构成微流通道；用流动注射泵驱使工作液从工具电极的中心孔流入微间隙，工作液在平面所有方向上等速地流过整个盘状微间隙。本发明的微流控装置结构简单，能够同时更新微间隙内的工作溶液和移除刻蚀产物，使大面积的刻蚀加工可持续地进行。

公开(公告)号：CN106191983A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610663439.1

申请日：2016-08-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 时康 ,  吴丹 ,  郑宣 ,  王亚会 ,  张劲福 ,  田中群

IPC: C25F7/00

CPC classification number: C25F7/00

Abstract: 本发明公开了一种用于电化学刻蚀加工的微流控装置及其应用方法，涉及金属、合金及半导体表面的纳米加工技术领域。采用中心开孔的盘式电极为工具电极，在工具电极的一面用软管包封中心孔的上端使之与流动注射泵相连；将工具电极具有纳米平整度的另一面作为工作面平放在工件上，并以厚度均一的绝缘薄膜碎片为垫片，使工具电极和工件表面形成盘状微间隙构成微流通道；用流动注射泵驱使工作液从工具电极的中心孔流入微间隙，工作液在平面所有方向上等速地流过整个盘状微间隙。本发明的微流控装置结构简单，能够同时更新微间隙内的工作溶液和移除刻蚀产物，使大面积的刻蚀加工可持续地进行。