公开(公告)号：CN118800797A

公开(公告)日：2024-10-18

申请号：CN202410679239.X

申请日：2024-05-29

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 于洪宇 ,  汪青 ,  王中锐 ,  蒋洋 ,  杜方洲 ,  李汶懋

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/66 ,  H01L29/423 ,  H01L29/417 ,  H01L23/367 ,  H01L23/34 ,  G01N27/00 ,  G01N27/414

Abstract: 本发明公开了一种氮化镓传感器及其制备方法，所述氮化镓传感器包括外延结构，所述外延结构从上至下依次包括：势垒层、沟道层、缓冲层和衬底；其中，所述势垒层的上表面设置有源极和漏级；所述源极和漏级之间设置有若干个栅极；所述源极、漏级和栅极彼此平行且间隔排布，共同形成齿状结构；所述势垒层的上表面还设置有钝化层；所述源极、漏级和栅极均被所述钝化层覆盖；所述栅极的数量≥2。本发明提供了一种高性能、高可靠性、多功能的便携式氮化镓传感器系统，且易大规模集成和生产，对实现高性能、高可靠性、多功能的便携式氮化镓传感器系统具有重要意义。