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公开(公告)号：CN117712167A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311604038.5
申请日：2023-11-28
Applicant: 南方科技大学
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了一种具有三层钝化层的晶体管，所述具有三层钝化层的晶体管结构自上而下依次包括金刚石钝化层、功能层、漂移层、衬底；其中，所述功能层包括源极、漏极和栅极；所述源极和漏极设置在漂移层的两侧，所述源极和漏极之间沉积有栅介质层；所述栅介质层上方设置有栅极，所述栅极和源极之间，以及栅极和漏极之间，均自上而下依次沉积第二钝化层和第一钝化层；本发明提出的器件具有三层钝化层可以大大提高了器件的击穿电压特性，降低了反向漏电流，整体提高了器件的电学性能；首先在氧化镓表面的第一钝化层可以起到界面屏障的作用，防止氧化镓表面与环境中的物质相互作用。
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