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公开(公告)号：CN105445854B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201510752581.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明提供一种硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层和外延缓冲层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导集成光子器件，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的硅衬底悬空LED光波导集成光子器件，降低LED器件的内部损耗，提高出光效率。本发明器件将光源和光波导集成在同一片晶圆上，解决了平面光子单片集成的难题，同时可使LED发出的光沿着光波导传输，解决光在光波导内传输的难题，实现光在平面传输的功能。
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公开(公告)号：CN105633194B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201610132116.X
申请日：2016-03-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种基于悬空p‑n结量子阱的光致晶体管及其制备方法，利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层，得到基于悬空氮化物薄膜p‑n结量子阱的光致晶体管，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的悬空器件。本发明中，晶体管一端作为LED光源，另一端作为光电探测器，由于两个器件之间优异的光谱匹配特性，光电探测器能够感知LED器件发出的光，将光信号转成电信号输出，从而实现器件的光致晶体管特性；该晶体管作为两个共地的LED光源，独立地传输被调制的光信号，实现可见光无线通信的双通道发射；本发明晶体管可以作为两个共地的光电探测器，独立地感知空间光信号，实现可见光无线通信的双通道探测。
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公开(公告)号：CN105742383B
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610103247.5
申请日：2016-02-25
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种悬空p‑n结量子阱器件和光波导单片集成系统及其制备方法，该集成系统包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的多个p‑n结量子阱器件，所述p‑n结量子阱器件之间设置有隔离槽，两相邻的p‑n量子阱器件通过光波导相连。本发明系统可实现平面光子信息传输以及空间多通道信号探测等多种功能，实现双通道的可见光平面光子信息传输和对空间光信号感知的倍增探测，同时能够分别独立感知空间光信号，实现三通道光信号的探测接收。
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公开(公告)号：CN104698537A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510085721.1
申请日：2015-02-17
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: G02B6/12007 , G02B6/13
Abstract: 本发明公开了一种氮化铝基的导模共振多通道滤光器及其制备方法，包括硅衬底层、氮化铝波导层、氮化铝光栅，所述的氮化铝光栅由多排不同周期的线性光栅阵列组成。该可见光波段的导模共振多通道滤光器实现在硅衬底氮化铝晶片上，采用电子束曝光、离子束刻蚀、光刻法、深反应离子刻蚀等技术定义和刻蚀器件，采用背后对准工艺和深硅刻蚀技术，去除氮化铝光栅下方的硅衬底，使得氮化铝层完全悬空。该器件利用不同周期光栅的导模共振特性，实现了可见光波段内的多通道滤光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105633194A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610132116.X
申请日：2016-03-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/173 , H01L31/1852 , H01L31/1856
Abstract: 本发明提供一种基于悬空p-n结量子阱的光致晶体管及其制备方法，利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层，得到基于悬空氮化物薄膜p-n结量子阱的光致晶体管，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的悬空器件。本发明中，晶体管一端作为LED光源，另一端作为光电探测器，由于两个器件之间优异的光谱匹配特性，光电探测器能够感知LED器件发出的光，将光信号转成电信号输出，从而实现器件的光致晶体管特性；该晶体管作为两个共地的LED光源，独立地传输被调制的光信号，实现可见光无线通信的双通道发射；本发明晶体管可以作为两个共地的光电探测器，独立地感知空间光信号，实现可见光无线通信的双通道探测。
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公开(公告)号：CN105428305B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201510816501.1
申请日：2015-11-20
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L21/762 , H01L27/04 , H01L21/822
Abstract: 本发明提供一种悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导探测器单片集成器件，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的硅衬底悬空LED光波导探测器单片集成器件。本发明器件将光源、光波导和光电探测器集成在同一芯片上，LED器件发出的光，侧向耦合进光波导，通过光波导传输，在波导另一端被光电探测器检测到，实现平面光子单片集成器件，应用于光通信和光传感领域。
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公开(公告)号：CN105742383A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610103247.5
申请日：2016-02-25
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/02327
Abstract: 本发明公开了一种悬空p?n结量子阱器件和光波导单片集成系统及其制备方法，该集成系统包括硅衬底层、设置在所述硅衬底层上的外延缓冲层、设置在所述外延缓冲层上的多个p?n结量子阱器件，所述p?n结量子阱器件之间设置有隔离槽，两相邻的p?n量子阱器件通过光波导相连。本发明系统可实现平面光子信息传输以及空间多通道信号探测等多种功能，实现双通道的可见光平面光子信息传输和对空间光信号感知的倍增探测，同时能够分别独立感知空间光信号，实现三通道光信号的探测接收。
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公开(公告)号：CN105445854A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510752581.9
申请日：2015-11-06
Applicant: 南京邮电大学
CPC classification number: G02B6/122 , G02B6/13 , G02B6/136 , H01L33/02 , G02B6/131 , G02B6/132 , G02B6/138
Abstract: 本发明提供一种硅衬底悬空LED光波导集成光子器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层和外延缓冲层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导集成光子器件，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的硅衬底悬空LED光波导集成光子器件，降低LED器件的内部损耗，提高出光效率。本发明器件将光源和光波导集成在同一片晶圆上，解决了平面光子单片集成的难题，同时可使LED发出的光沿着光波导传输，解决光在光波导内传输的难题，实现光在平面传输的功能。
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公开(公告)号：CN105428305A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510816501.1
申请日：2015-11-20
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L21/762 , H01L27/04 , H01L21/822
CPC classification number: G02B6/122 , H01L33/02 , H01L21/762 , H01L21/822 , H01L27/04
Abstract: 本发明提供一种悬空LED光波导光电探测器单片集成器件及其制备方法，该器件利用各向异性硅刻蚀技术，剥离去除器件结构下硅衬底层，得到悬空氮化物薄膜LED光波导探测器单片集成器件，进一步采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得超薄的硅衬底悬空LED光波导探测器单片集成器件。本发明器件将光源、光波导和光电探测器集成在同一芯片上，LED器件发出的光，侧向耦合进光波导，通过光波导传输，在波导另一端被光电探测器检测到，实现平面光子单片集成器件，应用于光通信和光传感领域。
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