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公开(公告)号：CN107641790A
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201710843032.1
申请日：2017-09-18
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种同时具有膜层厚度与晶粒尺寸均呈梯度结构金属薄膜的制备方法，该梯度结构金属薄膜兼具高强度和高延展性，表现出优异的综合力学性能。与传统的自上而下(Top-down)的方法不同，我们另辟蹊径，采用自下而上(Bottom-up)的方法来制备微纳米尺度的梯度结构薄膜，即利用高真空直流磁控溅射技术，巧妙的引入热稳定性高的超薄分隔层(1nm Ta)，将金属薄膜分隔层厚度呈梯度变化的多层结构，然后，通过中温退火，进一步改善晶粒尺寸的梯度分布，从而获得膜层厚度与晶粒尺寸同时呈梯度变化的非匀质梯度结构薄膜。薄膜层提供高强度，厚膜层维持高延展性，使得梯度薄膜兼具了高强度与高延展性的特点。该方法还具有很强的适用性，可以推广到其他各种金属以及金属化合物薄膜上。本发明清洁无污染，成本低，具有良好的实现效果。
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公开(公告)号：CN101323946A
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200810022471.7
申请日：2008-07-15
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种不同相结构的纳米晶金属Ta薄膜的制备方法，采用直流磁控溅射法，溅射靶材为纯度达到99.9wt％以上的Ta，衬底为单晶Si片(111)，在沉积之前，将Si片清洗，然后对真空室抽真空，对Ta靶进行约30min的预溅射；Ta膜制备时采用直流磁控溅射，真空室本底真空抽至7.5×10－5Pa以上，制备时真空室加Ar气，真空室的工作压力设置为1.5Pa；衬底的温度保持为室温，溅射功率150－250W，制备纯非晶和纯β相Ta膜；衬底温度范围为400℃到500℃，溅射功率范围都为250W；用于制备纯α相Ta或β与α混合相Ta膜。本发明操作简单，重复性好，实现效果良好。
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公开(公告)号：CN111500995A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010304651.5
申请日：2020-04-17
Applicant: 南通南京大学材料工程技术研究院
Abstract: 本发明公开了一种热稳定的导电金属薄膜及其制备方法和应用。该导电金属薄膜包括衬底和在衬底上依次由Ru层和Cu层交替沉积而成且以Ru层作为起始层和结束层的Cu/Ru纳米金属多层膜；相邻的一层Ru层和一层Cu层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度均相等，所述Ru层的厚度为3nm，所述Cu层的厚度为50nm-200nm，所述双层周期层的总层数为5-100。该导电金属薄膜热稳定性好且兼具高强度和高电导率，可用作微机械系统中的金属互连材料。该导电金属薄膜的制备方法，采用磁控溅射技术，制备过程可控且操作简单，便于工业化生产和大规模应用。
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公开(公告)号：CN105038502A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510422820.4
申请日：2015-07-17
Applicant: 南通南京大学材料工程技术研究院
IPC: C09D163/00 , C09D167/00 , C09D5/03 , C09D7/12
Abstract: 本发明公开了一种含有微胶囊的自修复环氧粉末涂料，含有微胶囊的自修复环氧粉末涂料，由以下重量份的成分构成：微裂纹自修复胶囊5～15份；Grubbs催化剂2～4份；环氧粉末树脂基体89～93份；自修复微胶囊的囊壁为：尿素和37％的甲醛溶液以物质的量之比为0.5～0.6：1的比例制备的脲醛树脂，囊芯为二聚环戊二烯。共混后通过高压静电喷涂工艺。微胶囊的外壳囊壁为脲醛树脂，内核囊芯为二聚环戊二烯，囊芯与囊壁的质量比为5:1。当涂层发生裂纹时，微胶囊破裂，二聚环戊二烯会迅速渗入银纹，遇到Grubbs催化剂作用产生聚合交联，以达到修复的目的。从而增强了粉末涂层的使用寿命，适用于新型工业化生产。
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公开(公告)号：CN101486869B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200910024505.0
申请日：2009-02-18
Applicant: 南京大学
IPC: C09D133/08 , C09D5/08 , C09D163/02
Abstract: 高性能金属防护纳米涂层的制备方法，包括以下步骤：将稀释剂与纳米氧化物颗粒按照重量比40～100∶1进行球磨，得到纳米氧化物悬浮液；按2～3∶1重量比称量丙烯酸酯和其余共聚性单体得到混合单体，加入混合单体总重量80％的纳米氧化物悬浮液，并加入反应添加剂，所得混合物搅拌10min，得到原位聚合反应前驱液。氮气保护下，向反应容器内加入10％原位聚合反应前驱液，在1～8h反应时间内滴加剩余的70～90％原位聚合反应前驱液，滴加完毕后将反应体系温度升高至90℃保温0.5～2h；加入pH值调节剂并搅拌5～10min后得到纳米氧化物-丙烯酸树脂。添加环氧树脂和助剂等以球磨方法配制金属防护纳米涂料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108611603B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201810437232.1
申请日：2018-05-09
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10‑5～2.5×10‑5Pa的条件下，通入氩气，调节真空度为5～7Pa，进行预溅射；将真空度调至0.5～1Pa，进行镀膜，先镀Cu层，功率为65～80W，然后Ag层，功率为30～50W，Ag膜与Cu膜的沉积速率为0.2nm/s，依次交替沉积，得到Cu/Ag多层膜。本发明操作简单，条件易于控制，重复性好，制得的多层膜层界清晰、厚度均匀、表面光滑平整，具有优良的电学和力学性能，适用于微电子行业。
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公开(公告)号：CN108611603A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810437232.1
申请日：2018-05-09
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明涉及一种金属多层膜的制备方法，先将单晶硅片依次由丙酮和乙醇超声清洗，吹干后放入超高真空磁控溅射设备基片台上，准备镀膜；采用直流磁控溅射法，将金属靶材放在真空室靶台上，在本底真空度为1.0×10-5～2.5×10-5Pa的条件下，通入氩气，调节真空度为5～7Pa，进行预溅射；将真空度调至0.5～1Pa，进行镀膜，先镀Cu层，功率为65～80W，然后Ag层，功率为30～50W，Ag膜与Cu膜的沉积速率为0.2nm/s，依次交替沉积，得到Cu/Ag多层膜。本发明操作简单，条件易于控制，重复性好，制得的多层膜层界清晰、厚度均匀、表面光滑平整，具有优良的电学和力学性能，适用于微电子行业。
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公开(公告)号：CN103954059B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201410091209.3
申请日：2014-06-11
Applicant: 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 , 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种太阳能选择吸收复合涂层，依次包括底层金属片、热扩散阻挡层、吸收层和减反射层，其中热扩散阻挡层为Ta纳米层，吸收层为AlN-Ag纳米层，减反射层为AlN纳米层。本发明还公开了这种涂层的制备方法，包括底层金属片预处理、沉积吸收复合涂层和退火处理工序，其中沉积吸收复合涂层工序为采用三靶室温直流磁控溅射法，以金属Al、Ag和Ta为溅射靶材沉积吸收涂层采用电场进行退火处理。本发明将高熔点金属Ta引入吸收涂层作为扩散阻挡层，显著提高了涂层的热稳性以及界面结合力。采用电场退火对涂层进行处理，提高了涂层的吸收率。本发明操作简单方便，可控性好，清洁无污染，适合大规模产业化。
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公开(公告)号：CN104930735A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510129849.3
申请日：2015-03-24
Applicant: 江苏奥蓝工程玻璃有限公司 , 南京大学
CPC classification number: Y02E10/40
Abstract: 本发明公开了一种太阳能吸收膜。依次包括底层金属片Cu、吸收层和反应溅射形成的AlN减反射层，吸收层包括若干个吸收周期层，每个周期层包括两层有效吸收层膜，该效吸收层膜从上往下依次为金属层Ni膜和陶瓷吸收层TiNxOy-Ni膜，该金属层Ni膜厚度为5～8nm；还公开了其制备方法，包括底层金属片预处理、沉积吸收层和高真空热退火工序，沉积吸收层工序为采用三靶直流磁控溅射法，以纯度99.9wt%的TiO2、99.99wt%的金属Ni和99.99wt%的金属Al为溅射靶材进行沉积涂层。本发明的太阳能吸收层，采用多级层构与成分梯度的设计思路，使得吸收层兼具多级层构与成分梯度的特点，吸收/发射比达到最优化，还具备耐腐蚀、抗氧化的特性，保证了涂层的工作可靠性，可以进一步提升蓝钛选择吸收涂层的综合性能。
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公开(公告)号：CN102373343A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110341324.8
申请日：2011-11-02
Applicant: 南京大学
Abstract: 小尺寸磁性二元合金纳米材料制备方法，采用柠檬酸为螯合剂，将磁性二元合金金属硝酸盐、表面活性剂、螯合剂柠檬酸溶解于去离子水中配制二元合金金属离子的混合溶液；将溶液水浴加热并磁力搅拌形成溶胶，然后将溶胶干燥脱水形成干凝胶；将干凝胶捣碎，在气氛保护环境下在500-600℃之间热处理3-5h，最后冷却至室温；在混合溶液中的重量比：水的重量起码在50%以上；磁性二元合金金属硝酸盐与柠檬酸的摩尔比例为1：3-1：10之间，表面活性剂十二烷基硫酸钠与金属硝酸盐的质量比为1：1-1：3；混合溶液的pH值控制在0.5-1.0范围内；溶胶干燥的温度为120-180度，干燥时间为2-5天。该方法装置简单，容易操作，可控性好。
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