一种量子点异质结日盲紫外探测芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN112436070A

    公开(公告)日:2021-03-02

    申请号:CN202011381986.3

    申请日:2020-12-01

    Abstract: 本发明公开了一种量子点异质结日盲紫外探测芯片及其制备方法,该芯片自下至上依次为基底、底栅电极、栅绝缘层、p型半导体层、本征层和n型半导体层,p型半导体层上设置有源电极,n型半导体层上设置有漏电极,p型半导体层、本征层和n型半导体层构成p‑i‑n异质结场效应沟道,该芯片的制备方法包括以下步骤:(1)在基底制备底栅电极;(2)制备栅绝缘层;(3)制备p型半导体层;(4)制备源电极;(5)制备宽禁带半导体量子点本征层;(6)制备n型半导体层;(7)制备漏电极。该芯片能够在提高内量子效率同时降低暗电流,加速分离光生电子和空穴,使光生电子和空穴分别快速转移到n区和p区,继而分别到达源电极和漏电极,提高其响应度。

    一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN114582991A

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202210162068.4

    申请日:2022-02-22

    Abstract: 本发明提供一种量子点集成微型紫外光谱传感芯片及其制备方法,包括:基底;设置在基底底部的传感电极、量子点层和底部填充层;所述基底顶部设有第一反射层和第一驱动电极;与所述第一反射层相对地设有第二反射层,所述第二反射层设置在支承梁底部,所述支承梁底部还设有第二驱动电极,所述支撑梁与两侧的悬臂梁连接,所述悬臂梁通过键合层与所述基底连接;所述第一反射层、第二反射层与之间的空气间隙构成法布里‑珀罗干涉腔。本发明还提供了上述芯片的制备方法。本发明的传感芯片直接集成量子点紫外传感与变间隙法布里‑珀罗干涉滤波腔,工艺成本低,集成度高,方便作为微型紫外光谱仪应用于手机、可穿戴便携设备的紧凑空间使用。

    一种基于色差的自动对焦机器视觉测量装置及方法

    公开(公告)号:CN109714535B

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN201910036331.3

    申请日:2019-01-15

    Abstract: 本发明公开了一种基于色差的自动对焦机器视觉测量装置及方法,装置包括上位机、标定板、成像模块、照明模块、电动平移台、照明驱动模块、电机驱动模块和电源模块;待测物体放置于电动平移台上,电动平移台控制待测物体位置;照明模块轮流点亮不同中心波长处的LED,照明待测物体;上位机采集成像模块拍摄的图像信息;上位机在多幅图像中选择对比度最高的图像作为聚焦图像并进行后续图像处理。本发明通过控制光源波长代替电机移动,消除了聚焦过程中的震动,速度更快,可靠性更高,结构及控制简单,且成本较低,只需更换原装置中的镜头及照明光源即可,无需增加额外元器件,易于改进现有设备实现,有助于推广该技术的应用。

    一种基于微透镜阵列的光散射特性测量装置及方法

    公开(公告)号:CN106596354B

    公开(公告)日:2020-03-31

    申请号:CN201611120200.6

    申请日:2016-12-08

    Abstract: 本发明提供一种基于微透镜阵列的光散射特性测量装置及方法,其中,所述装置包括照明模块、探测模块、半透半反棱镜、激光强度模块、升降机构、物镜、待测颗粒、样品池、上位机及运动控制器,其中,所述照明模块产生的激光通过所述半透半反棱镜进入所述物镜,并根据所述照明模块和所述物镜的位置关系,生成对应类型的光束;所述光束作用于位于所述样品池中的所述待测颗粒,生成后向散射光;所述后向散射光依次通过所述物镜和所述半透半反棱镜后进入所述探测模块;所述探测模块根据接收所述后向散射光的微透镜孔径,确定所述后向散射光对应的散射角度。本发明提供的一种基于微透镜阵列的光散射特性测量装置及方法,能够提高光散射特性测量的精度。

    一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法

    公开(公告)号:CN108036737B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201711318351.7

    申请日:2017-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种全场照明快照式检测反射面面形的装置及方法,固体激光器、第一透镜、第二透镜、空间滤波器、偏振片、半波片、偏振分光棱镜、第一反射镜、第二反射镜、四分之一波片、会聚透镜、物镜、被测反射面和同步偏振相机均设置在抗震平台上,固体激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、偏振片、半波片、偏振分光棱镜和第二反射镜沿垂直于偏振分光棱镜一面的直线方向依次设置,第一反射镜、偏振分光棱镜、四分之一波片、会聚透镜、物镜和被测反射面沿垂直于偏振分光棱镜相邻另一面的直线方向依次设置,同步偏振相机设置在被测反射面的反射方向上,空间滤波器位于第一透镜的像方焦平面上。本发明具有快速、高效和精确检测的优点。

    一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN112126897B

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202011070429.X

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法,包括如下步骤:对m面蓝宝石衬底进行清洗,吹干后放入衬底托盘;将衬底载入真空室,待真空室的真空度达到3×10‑6 Pa后,通入高纯氩气,气体流量控制在40 sccm,调节真空室真空度为1Pa;对高纯Ga2O3陶瓷靶材进行预处理;采用磁控溅射法在衬底上沉积薄膜,衬底温度为25摄氏度,射频功率设置为40W,沉积时间为2小时;将制备好的薄膜放入管式炉中进行后退火处理,后退火温度为500‑800摄氏度,退火时间为2小时。本发明方法制备的alpha相氧化镓薄膜沉积面积大且粒径分布均匀。

    一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置

    公开(公告)号:CN113074917A

    公开(公告)日:2021-07-06

    申请号:CN202110355599.0

    申请日:2021-04-01

    Abstract: 本发明公开了一种基于Bessel光束离焦扫描的微纳结构特征参数测量方法及装置,装置包括上位机、控制器、电源模块、测量模块、电动聚焦平移台、电动扫描平移台和待测样品;电动聚焦平移台带动测量模块连续移动,改变其与待测样品表面的距离,使得聚焦光点成像的状态从离焦至聚焦至离焦连续发生变化,移动中拍摄待测样品表面图像;电动扫描平移台用于改变待测样品表面的测量区域;所述测量模块通过Bessel光束实现待测样品表面成像;上位机包括不同微纳结构特征参数所对应的三维图像栈分布数据库,通过分析待测样品表面图像形成图像栈,与数据库进行对比确定微纳结构特征参数。本发明为非接触测量,不会损伤表面且成本较低,效果更优。

    一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN112126897A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202011070429.X

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 一种alpha相氧化镓薄膜的制备方法,包括如下步骤:对m面蓝宝石衬底进行清洗,吹干后放入衬底托盘;将衬底载入真空室,待真空室的真空度达到3×10‑6 Pa后,通入高纯氩气,气体流量控制在40 sccm,调节真空室真空度为1Pa;对高纯Ga2O3陶瓷靶材进行预处理;采用磁控溅射法在衬底上沉积薄膜,衬底温度为25摄氏度,射频功率设置为40W,沉积时间为2小时;将制备好的薄膜放入管式炉中进行后退火处理,后退火温度为500‑800摄氏度,退火时间为2小时。本发明方法制备的alpha相氧化镓薄膜沉积面积大且粒径分布均匀。

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