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公开(公告)号：CN108593270B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201810026607.5
申请日：2018-01-11
Abstract: 本发明公开了一种单自由度减振装置测试平台，包括框架、导向机构、移动平台、刚度构件、中心轴和数据处理系统，框架包括上平板、下平板和立柱，上平板和下平板分别固定在立柱的两端，导向机构固定于下平板上，移动平台与导向机构滑动连接，移动平台上设置有升降机构；刚度构件与立柱固定连接，刚度构件中心设置有通孔，中心轴一端贯穿通孔与待测装置固定连接，中心轴另一端用于接收力锤的振动冲击，中心轴上设置有加速度传感器，力锤上设置有力传感器，力传感器和加速度传感器分别将力和加速度信号传输给数据处理系统分析计算。本发明使用锤击法测试减振装置的刚度和阻尼系数，使实验人员通过观察、对比、分析对减振装置的减振性能有全面的了解。
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公开(公告)号：CN102230508A
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN201110076859.7
申请日：2011-03-29
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F15/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明公开了一种载荷重心自适应主动减振器及由其构成的减振系统。减振器它包括载荷传感器，用来实现对水平方向的减振的被动减振部件，以及用来实现对垂直方向的减振的主动减振单元，主动减振单元和被动减振单元为串联关系，载荷传感器安装在减振器的任意轴向力位置。减振系统由三个减振器和一个等边三角形的减振平台所组成；以减振平台的几何中心为圆心，三个减振器呈120度角均布在同一圆周上。本发明能在载荷重心偏离减振平台几何中心的情况下，保持良好的减振性能。该减振系统除可用于光刻机外，还可用作精密加工设备、精密仪器、光学实验设备、精密医疗设备等的隔振平台。
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公开(公告)号：CN101818777A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010164569.3
申请日：2010-05-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/02
Abstract: 本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器，其结构为：金属壳体外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体内部中空，且由隔板隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室，上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室；在下腔室底部开有进气口，下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路；负载连接板与活塞机构上端面固定连接；负载连接板上装有绝对速度传感器，在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器，在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器，负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现对垂向振动的良好衰减，能够进行在线自适应，而无须离线调试。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。
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公开(公告)号：CN101398052A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200810196983.5
申请日：2008-09-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明属于精密减振技术领域，为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构；倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成，置于环形气腔内；主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力，通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递，通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置构成，通过各精密重载减振器的共同作用实现被隔振设备的六自由度精密减振。
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公开(公告)号：CN108593270A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810026607.5
申请日：2018-01-11
Abstract: 本发明公开了一种单自由度减振装置测试平台，包括框架、导向机构、移动平台、刚度构件、中心轴和数据处理系统，框架包括上平板、下平板和立柱，上平板和下平板分别固定在立柱的两端，导向机构固定于下平板上，移动平台与导向机构滑动连接，移动平台上设置有升降机构；刚度构件与立柱固定连接，刚度构件中心设置有通孔，中心轴一端贯穿通孔与待测装置固定连接，中心轴另一端用于接收力锤的振动冲击，中心轴上设置有加速度传感器，力锤上设置有力传感器，力传感器和加速度传感器分别将力和加速度信号传输给数据处理系统分析计算。本发明使用锤击法测试减振装置的刚度和阻尼系数，使实验人员通过观察、对比、分析对减振装置的减振性能有全面的了解。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101818777B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010164569.3
申请日：2010-05-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/02
Abstract: 本发明公开了一种自适应变阻尼超精密减振器，其结构为：金属壳体外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体内部中空，且由隔板隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室，上部的中空部分与活塞机构通过膜结构密封连接形成上腔室；在下腔室底部开有进气口，下腔室与上腔室之间安装有带节流阀的连通管路；负载连接板与活塞机构上端面固定连接；负载连接板上装有绝对速度传感器，在金属壳体上端部装有非接触式的电涡流接近传感器，在金属壳体与负载连接板之间安装有主动作动器，负载连接板用于与负载固定连接。本发明能够实现对垂向振动的良好衰减，能够进行在线自适应，而无须离线调试。本发明可以为光刻机及其他的精密设备提供超静的环境。
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公开(公告)号：CN101398052B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200810196983.5
申请日：2008-09-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: F16F9/02 , F16F15/023
Abstract: 本发明属于精密减振技术领域，为一种重载精密减振器及其构成的减振系统。减振器包括阻尼可变的低刚度空气弹簧、低水平刚度的倒立摆机构和一组三自由度主动减振执行器。空气弹簧为由节流孔连通的内外环形双气室结构；倒立摆机构由主支承杆和两根以上的柔性摆杆组成，置于环形气腔内；主动减振执行器由三个正交布置的直线电机构成。重载精密减振器通过空气弹簧产生垂向大承载力，通过空气弹簧和倒立摆机构分别隔离垂向和水平向的振动传递，通过垂向和水平向直线电机作用力进行主动控制衰减振动。减振系统由三个以上的精密重载减振器呈多边形布置构成，通过各精密重载减振器的共同作用实现被隔振设备的六自由度精密减振。
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公开(公告)号：CN101020313A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710051629.9
申请日：2007-03-08
Applicant: 华中科技大学
IPC: B25J9/16 , B25J13/00 , G05D1/02 , G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 本发明公开了一种模块化嵌入式多足机器人运动控制器，包括PC模块、机身控制模块和分别位于各条足上的足单元控制模块。PC模块用于识别机器人所处环境，确定机器人的下一步动作并将数据传送给机身控制模块。机身控制模块用于将该数据处理成为具体运动数据，再将数据通过机身总线分发到各足单元控制模块。本发明采用分层式控制方式，由数据运算层、机身控制层和关节控制层组成。数据运算层建立在PC机上，根据机器人的正逆运动学、动力学计算出机器人的步态数据。机身控制层以ARM处理器为控制核心。机身控制层有较大的存储空间，可存储机器人的步态数据，实现机器人的离线运动，也拥有与PC机的无缝联接接口，由PC机对机器人实现在线调试。
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公开(公告)号：CN1974147A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610125217.0
申请日：2006-12-01
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种可组合的机器人关节及其构成的足单元。机器人关节包括电动机、齿轮减速器、直齿轮和转向减速器、光电编码器和电位器。足单元包括足末端、小腿关节、大腿关节、髋关节、上机架和下机架。该机器人关节具有旋转功能，能够和类似的关节进行组合，构成多种形式的机器人，例如步行机器人、工业机机械臂、轮式移动机器人等。采用这种关节构造的机器人，避免了结构上的冗余，降低了设计、加工的难度。采用这种可组合的机器人关节构成的机器人，打破了在结构上的限制，具备很强的扩展能力，能够通过改变关节的组合方式适应工作环境和任务需要的变化。
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公开(公告)号：CN101398636A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200810196984.X
申请日：2008-09-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G03F7/20 , F16F15/023
Abstract: 本发明公开了一种精密减振组件及由其构成的减振平台，具有减振和Z向定位功能。精密减振组件包括被动减振部件、主动减振执行器和外框架。被动减振部件采用双腔体结构的活塞杆，气囊和压力腔分别位于两个腔体内，气囊具有较大的纵向支撑力和较低的刚度，能隔离衰减高频的振动。主动减振执行器为直线型音圈电机，与被动减振部件并联，根据被控对象振动状态和位置信息，对被动对象施加作用力，带动被控对象运动到指定的位置和对振动进行补偿。至少三个精密减振组件构成的减振平台具有多自由度减振，Z向精确定位和调平调焦功能。本发明可用于光刻机、超精密数控机床、生物芯片扫描仪等具有精密减振要求的设备中。
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