公开(公告)号：CN111780737B

公开(公告)日：2022-06-03

申请号：CN202010581794.0

申请日：2020-06-23

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 刘国文 ,  高乃坤 ,  徐杰 ,  张乐民 ,  王健鹏 ,  刘福民

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/56

Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量，并减小了惯性测量单元的体积。

公开(公告)号：CN112284368A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202010997288.X

申请日：2020-09-21

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 高乃坤 ,  刘福民 ,  刘国文 ,  徐杰 ,  张乐民 ,  王健鹏

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5733

Abstract: 本发明公开了一种全差分高精度X轴硅微陀螺仪，包括质量块组、驱动单元、检测单元。驱动单元接收外部输入的电信号，产生静电力，驱动质量块沿X方向做简谐振动；质量块组中各质量块在作简谐振动的同时敏感外界绕Y轴的角速率，受到科里奥利力沿Z轴方向振动，在Z轴方向上产生位移；检测单元，将各质量块在Z轴方向上的位移，转换成电信号输出。质量块组采用全对称的四质量块结构设计，形成全差分输出，可以有效减小检测相对非线性误差，提高检测灵敏度，同时可减小外界因素对陀螺性能的影响，环境适应性强。驱动单元和检测单元采用机械解耦结构设计，可有效的减小驱动模态和检测模态的机械耦合，提高检测精度。

公开(公告)号：CN111780737A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202010581794.0

申请日：2020-06-23

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 刘国文 ,  高乃坤 ,  徐杰 ,  张乐民 ,  王健鹏 ,  刘福民

IPC: G01C19/5621 ,  G01C19/5614 ,  G01C19/5726 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/56

Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的高精度水平轴硅微陀螺仪，包括：包括盖帽层、陀螺仪敏感结构和衬底层；其中，盖帽层和衬底层相连接组成内部真空结构，陀螺仪敏感结构设置于内部真空结构；陀螺敏感结构包括第一驱动梳齿组、第二驱动梳齿组、第三驱动梳齿组、第四驱动梳齿组、第一驱动检测梳齿、第二驱动检测梳齿、第三驱动检测梳齿、第四驱动检测梳齿、第一驱动弹性梁组、第二驱动弹性梁组、第一检测弹性梁组、第二检测弹性梁组、锚区组、第一质量块、第二质量块、耦合弹性梁、第一驱动框架和第二驱动框架。本发明实现了俯仰和滚动角速率的测量，并减小了惯性测量单元的体积。