一种二维可重构晶体管及其制备方法、调控方法

    公开(公告)号:CN116230761A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310174874.8

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明提供一种二维可重构晶体管及其制备方法、调控方法,包括绝缘衬底、源极、底栅电极、底栅介电层、二维半导体层、顶栅介电层、漏极和顶栅电极;其中,源极和底栅电极位于绝缘衬底上方,底栅介电层覆盖底栅电极,二维半导体层位于所述底栅介电层上方并与所述源极接触,顶栅介电层覆盖所述二维半导体层,漏极与所述二维半导体层接触,顶栅电极位于所述顶栅介电层上方且不与漏极接触。本发明垂直双栅极电压调控的二维可重构晶体管应用于未来集成电路时,同等算力条件下,可以节省大量的晶体管,减少集成电路占用面积,降低集成电路成本和整体的能耗,满足未来人工智能、物联网等应用的发展需求。

    一种二维可重构晶体管及其制备方法、调控方法

    公开(公告)号:CN116230761B

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202310174874.8

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明提供一种二维可重构晶体管及其制备方法、调控方法,包括绝缘衬底、源极、底栅电极、底栅介电层、二维半导体层、顶栅介电层、漏极和顶栅电极;其中,源极和底栅电极位于绝缘衬底上方,底栅介电层覆盖底栅电极,二维半导体层位于所述底栅介电层上方并与所述源极接触,顶栅介电层覆盖所述二维半导体层,漏极与所述二维半导体层接触,顶栅电极位于所述顶栅介电层上方且不与漏极接触。本发明垂直双栅极电压调控的二维可重构晶体管应用于未来集成电路时,同等算力条件下,可以节省大量的晶体管,减少集成电路占用面积,降低集成电路成本和整体的能耗,满足未来人工智能、物联网等应用的发展需求。

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