一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法

    公开(公告)号:CN115992346A

    公开(公告)日:2023-04-21

    申请号:CN202310121914.2

    申请日:2023-02-16

    Abstract: 本发明实施例公开了一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法,包括薄膜生长机构,进样承载机构,离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构;进样承载机构用于向薄膜生长机构中提供样品;离子源提供机构提供经过筛分后的待沉积离子,用于离子沉积;分子束外延机构产生分子束流,用于分子束外延生长;化学气相沉积机构产生气态物质,用于化学气相沉积。通过离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构的协同配合,一次操作过程中可完成分子束外延、化学气相沉积、离子沉积等多种薄膜制备功能,实现电中性分子和带电离子的共沉积,可用于氧化物、氮化物、硒化物以及金刚石等薄膜材料及其异质结的原位制备,提高制备效率。

    两段式大功率高速多片湿式离合器

    公开(公告)号:CN105041906B

    公开(公告)日:2016-05-11

    申请号:CN201510313439.4

    申请日:2015-06-09

    Abstract: 本发明公开了一种两段式大功率高速多片湿式离合器,属于机械传动与驱动技术领域。离合器包括缸套、活塞和摩擦副,所述活塞和摩擦副同时安装在缸套内部,所述一个活塞对应一组摩擦副并在缸套内部形成一个工作段,每个工作段通过单独充放油控制活塞对摩擦副正压力的变化,实现一个工作段的摩擦转矩输出;工作段与工作段间进行充放油交替匹配控制变化,最终实现离合器摩擦转矩输出的连续可控。本发明解决了高速差与大摩擦转矩不能兼顾的矛盾,能够满足主被动转速差大于每分钟5000转,且传递摩擦功率大于500千瓦的飞机和高速车辆的使用需求。

    一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法

    公开(公告)号:CN115992346B

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202310121914.2

    申请日:2023-02-16

    Abstract: 本发明实施例公开了一种多功能的离子沉积薄膜制备装置及薄膜沉积方法,包括薄膜生长机构,进样承载机构,离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构;进样承载机构用于向薄膜生长机构中提供样品;离子源提供机构提供经过筛分后的待沉积离子,用于离子沉积;分子束外延机构产生分子束流,用于分子束外延生长;化学气相沉积机构产生气态物质,用于化学气相沉积。通过离子源提供机构、分子束外延机构和化学气相沉积机构的协同配合,一次操作过程中可完成分子束外延、化学气相沉积、离子沉积等多种薄膜制备功能,实现电中性分子和带电离子的共沉积,可用于氧化物、氮化物、硒化物以及金刚石等薄膜材料及其异质结的原位制备,提高制备效率。

    多段式大功率高速多片湿式离合器

    公开(公告)号:CN105041906A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510313439.4

    申请日:2015-06-09

    Abstract: 本发明公开了一种多段式大功率高速多片湿式离合器,属于机械传动与驱动技术领域。离合器包括缸套、多个活塞和多组摩擦副,所述活塞和摩擦副同时安装在缸套内部,所述一个活塞对应一组摩擦副并在缸套内部形成一个工作段,每个工作段通过单独充放油控制活塞对摩擦副正压力的变化,实现一个工作段的摩擦转矩输出;工作段与工作段间进行充放油交替匹配控制变化,最终实现离合器摩擦转矩输出的连续可控。本发明解决了高速差与大摩擦转矩不能兼顾的矛盾,能够满足主被动转速差大于每分钟5000转,且传递摩擦功率大于500千瓦的飞机和高速车辆的使用需求。

    多段式双离合机械变速器

    公开(公告)号:CN105526315B

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201610065443.8

    申请日:2016-01-29

    Abstract: 本发明公开了一种多段式双离合机械变速器,属于机械传动与驱动技术领域。该装置该变速器包括多段式双离合机构、一级变速机构和二级变速机构;所述多段式双离合机构包含四个多段式子离合器,任一多段式子离合器均可完成一个工作段,每个工作段通过单独充放油控制活塞对摩擦副正压力的变化,实现一个工作段的摩擦转矩输出;工作段与工作段间进行充放油交替匹配控制变化,最终实现离合器摩擦转矩输出的连续可控;所述一级变速机构和二级变速机构通过控制其内部的六个同步器完成与多段式双离合机构的控制匹配。本发明在尺寸结构相当的情况下,可极大提高机械变速机构的挡位数,进而改善车辆传动系统平顺性。

    多段式双离合机械变速器

    公开(公告)号:CN105526315A

    公开(公告)日:2016-04-27

    申请号:CN201610065443.8

    申请日:2016-01-29

    Abstract: 本发明公开了一种多段式双离合机械变速器,属于机械传动与驱动技术领域。该装置该变速器包括多段式双离合机构、一级变速机构和二级变速机构;所述多段式双离合机构包含四个多段式子离合器,任一多段式子离合器均可完成一个工作段,每个工作段通过单独充放油控制活塞对摩擦副正压力的变化,实现一个工作段的摩擦转矩输出;工作段与工作段间进行充放油交替匹配控制变化,最终实现离合器摩擦转矩输出的连续可控;所述一级变速机构和二级变速机构通过控制其内部的六个同步器完成与多段式双离合机构的控制匹配。本发明在尺寸结构相当的情况下,可极大提高机械变速机构的挡位数,进而改善车辆传动系统平顺性。

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