公开(公告)号：CN1616180A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：CN200310113299.3

申请日：2003-11-14

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 黄强 ,  时广轶 ,  石庚辰 ,  李文荣 ,  李科杰 ,  张伟民

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/08

Abstract: 一种基于CO2激光器的三维微管道加工设备，属于先进制造与自动化技术领域。该设备由激光汇聚系统、三维精密平台及温度压力自动调节装置三大部分组成。激光汇聚系统采用自主研制的CO2高功率激光器并进行相应的光学系统设计，实现能够刻蚀微管道的高能量激光束的汇聚。三维精密平台以高精度步进电机驱动，采用高分辨率的增量编码盘作为反馈装置组成闭环控制系统。通过控制激光汇聚系统的激光束及三维精密平台的移动可以实现任意形状三维微管道的制作。这种基于CO2激光器的三维微管道加工设备造价低，工艺简单，并可实现大的深宽比。

公开(公告)号：CN2650926Y

公开(公告)日：2004-10-27

申请号：CN200320102989.4

申请日：2003-11-14

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 黄强 ,  张志远 ,  时广轶 ,  黄文倩

IPC: B23K26/06

Abstract: 本实用新型涉及一种用于微米级管道刻蚀的二氧化碳激光汇聚装置，它由激光器、扩束装置、汇聚器以及电源系统、计算机等部件构成，汇聚器由扩束镜与凸透镜组合而成；扩束镜由在前的凹透镜和在后的凸透镜A组成，并与另一凸透镜B纵向排列安装。其凹透镜与凸透镜A之间、凸透镜A与凸透镜B之间的安装距离分别为300mm和10mm。采用本实用新型可以提高光束的质量，由于采用焦距为100mm的凸透镜进行汇聚，可使汇聚光斑直径小于150微米。