用于微米级管道刻蚀的二氧化碳激光汇聚装置

    公开(公告)号:CN2650926Y

    公开(公告)日:2004-10-27

    申请号:CN200320102989.4

    申请日:2003-11-14

    Abstract: 本实用新型涉及一种用于微米级管道刻蚀的二氧化碳激光汇聚装置,它由激光器、扩束装置、汇聚器以及电源系统、计算机等部件构成,汇聚器由扩束镜与凸透镜组合而成;扩束镜由在前的凹透镜和在后的凸透镜A组成,并与另一凸透镜B纵向排列安装。其凹透镜与凸透镜A之间、凸透镜A与凸透镜B之间的安装距离分别为300mm和10mm。采用本实用新型可以提高光束的质量,由于采用焦距为100mm的凸透镜进行汇聚,可使汇聚光斑直径小于150微米。

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