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公开(公告)号:CN110095950A
公开(公告)日:2019-08-06
申请号:CN201910378992.4
申请日:2019-05-08
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种制备不同弯曲程度纳米梁的方法,属于微纳加工领域。本发明公开了一种制备不同弯曲程度纳米梁的方法,主要利用聚焦离子束刻蚀系统(FIB)完成对不同弯曲程度纳米梁的制备,涉及微纳加工领域。本发明通过FIB刻蚀样品、氢氟酸缓冲液腐蚀样品两个步骤制备出纳米梁,通过控制聚焦离子束的束流大小和扫描时间制备出不同弯曲程度的纳米梁。本发明提供了一种制备不同弯曲程度纳米梁的方法,制备方法简单易行、制备精度高,为腔光力学的研究提供了新型纳米平台,为光力纳米器件的研究奠定了基础。
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公开(公告)号:CN111428340B
公开(公告)日:2022-04-08
申请号:CN202010112421.9
申请日:2020-02-24
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于遗传优化的集成光子带通滤波器的设计方法,属于微纳光子学器件技术领域。利用物理场仿真软件的模式分析模块,采用等效折射率的方法将三维模型等效为二维模型,选定器件整体形状和结构单元形状,用等距网格对器件整体划分,进行遗传优化操作,通过输出的最佳结构单元确定带通滤波器的结构。所述方法设计大大提升了设计效率,制造出的带通滤波器与传统的宏观光学器件相比尺寸超小,集成度高;性能良好,线型优,带宽大,滚降范围较小;指标均满足当前微纳加工的要求。所述方法的使用,可以使研究者更专注于器件的级联应用以及对器件内在机制的探究,为未来光处理、光通讯的发展提供了备选方案。
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公开(公告)号:CN110174725B
公开(公告)日:2020-10-02
申请号:CN201910451934.X
申请日:2019-05-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于平面矩形柱结构的片上波长路由器件,属于微纳光子学器件领域。本发明公开了一种基于平面矩形柱结构的片上波长路由器件。这种波长路由器件实现了1μm×1μm的超小结构,是目前已知的最小尺寸的波长路由器件,适用于大型光子集成。本发明的器件由两种不同折射率的材料构成,是正方形和小矩形组成的平面二维结构,通过优化改变矩形的长度、宽度及位置,以令器件达到很好的分光效果,并得到了打破传统局限的无序结构。
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公开(公告)号:CN109459850A
公开(公告)日:2019-03-12
申请号:CN201811305225.2
申请日:2018-11-05
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开的一种局域光场结构的实现及设计方法,涉及微纳光子学领域。本发明对待设计区域的平面进行网格划分,确定网格数量和每个网格的形状,用“0”、“1”矩阵来表示每个网格中填充的材料,通过优化算法选取光学品质因子(Q)最大的结构作为最终结果,形成Q极高的平面局域光场的结构。本发明对形状的限制较小,无需单独优化各个结构参数,设计过程直接由算法完成,能够节省大量的时间,并且形状不受旧有经验的限制,从而能够产生效果更好的结构。由于本发明采用易于加工的平面结构,可以采用微纳加工方法制备,适于芯片上的集成应用,推动局域光场化相关领域发展。
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公开(公告)号:CN111428340A
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN202010112421.9
申请日:2020-02-24
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于遗传优化的集成光子带通滤波器的设计方法,属于微纳光子学器件技术领域。利用物理场仿真软件的模式分析模块,采用等效折射率的方法将三维模型等效为二维模型,选定器件整体形状和结构单元形状,用等距网格对器件整体划分,进行遗传优化操作,通过输出的最佳结构单元确定带通滤波器的结构。所述方法设计大大提升了设计效率,制造出的带通滤波器与传统的宏观光学器件相比尺寸超小,集成度高;性能良好,线型优,带宽大,滚降范围较小;指标均满足当前微纳加工的要求。所述方法的使用,可以使研究者更专注于器件的级联应用以及对器件内在机制的探究,为未来光处理、光通讯的发展提供了备选方案。
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公开(公告)号:CN109459850B
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201811305225.2
申请日:2018-11-05
Applicant: 北京理工大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开的一种局域光场结构的实现及设计方法,涉及微纳光子学领域。本发明对待设计区域的平面进行网格划分,确定网格数量和每个网格的形状,用“0”、“1”矩阵来表示每个网格中填充的材料,通过优化算法选取光学品质因子(Q)最大的结构作为最终结果,形成Q极高的平面局域光场的结构。本发明对形状的限制较小,无需单独优化各个结构参数,设计过程直接由算法完成,能够节省大量的时间,并且形状不受旧有经验的限制,从而能够产生效果更好的结构。由于本发明采用易于加工的平面结构,可以采用微纳加工方法制备,适于芯片上的集成应用,推动局域光场化相关领域发展。
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公开(公告)号:CN110174725A
公开(公告)日:2019-08-27
申请号:CN201910451934.X
申请日:2019-05-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于平面矩形柱结构的片上波长路由器件,属于微纳光子学器件领域。本发明公开了一种基于平面矩形柱结构的片上波长路由器件。这种波长路由器件实现了1μm×1μm的超小结构,是目前已知的最小尺寸的波长路由器件,适用于大型光子集成。本发明的器件由两种不同折射率的材料构成,是正方形和小矩形组成的平面二维结构,通过优化改变矩形的长度、宽度及位置,以令器件达到很好的分光效果,并得到了打破传统局限的无序结构。
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