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公开(公告)号：CN110044700B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201910347092.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及材料原位微纳实验平台领域，提供一种透射电镜原位液体环境力学试验平台，包括样品杆和装载台，装载台包括下芯片、上芯片和加载器件。下芯片上表面设有第一凹槽，第一凹槽底面设有沟槽，沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔；上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口，第二凹槽和第一凹槽形成用于安装加载器件的容置空间，上芯片的上表面设有热电阻；上芯片下表面与下芯片上表面连接，加载器件下表面与第一凹槽底面连接，加载器件设有驱动梁，驱动梁设有样品搭载区；下薄膜窗口、样品搭载区和上薄膜窗口对中设置。本发明可实现对样品在液体腐蚀环境下力学测试，解决了目前透射电镜无法有效进行原位液体环境下力学测试的问题。
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公开(公告)号：CN110261221B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN201910430801.4
申请日：2019-05-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及纳米材料力学性能与显微结构原位表征技术领域，提供一种原位拉伸装置及其制备方法，所述的制备方法包括：在MEMS力学芯片上对搭载的板料进行切割操作，得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和预拉伸样品；对预拉伸样品进行减薄操作，以得到拉伸样品；第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧，拉伸样品的两端分别连接第二拉伸辅助件与MEMS力学芯片的第二搭载侧；第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构；本发明设计巧妙、操作便捷，实现了在MEMS力学芯片上直接制备拉伸样品和用于辅助拉伸的勾套结构，可以有效防(56)对比文件金钦华;王跃林;李铁;李昕欣;许钫钫.用于TEM原位拉伸实验的集成单晶硅纳米梁MEMS测试芯片研究.中国科学(E辑:技术科学).2009,(第05期),全文.
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公开(公告)号：CN105758711B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610237986.3
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/02
Abstract: 基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构‑力学性能原位表征领域，包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动，实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台，从而实现对样品的拉伸或压缩。本发明与高分辨TEM配合，在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时，对纳米材料进行可控变形，进行实现材料显微结构—力学性能的一体化研究，揭示材料的形变机制。
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公开(公告)号：CN106098520B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201610617959.9
申请日：2016-07-30
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置，包括与扫描电镜相连接的真空腔体，其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒；真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接；真空腔体设置有二维平移台外接旋钮；腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台，及其上的透射电镜样品杆偏心套筒，实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点，实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息；同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试，以保障透射电镜的安全。
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公开(公告)号：CN105758711A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610237986.3
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/02
CPC classification number: G01N3/02
Abstract: 基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构?力学性能原位表征领域，包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动，实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台，从而实现对样品的拉伸或压缩。本发明与高分辨TEM配合，在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时，对纳米材料进行可控变形，进行实现材料显微结构—力学性能的一体化研究，揭示材料的形变机制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110031295B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201910217214.7
申请日：2019-03-21
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/08 , G01N3/02 , G01N23/04 , G01N23/2251
Abstract: 本发明实施例涉及透射/扫描电子显微镜气体环境力学技术领域，提供的气体环境原位应力应变测量实验平台，包括由下至上依次连接的底座模块、力学加载与测量模块和顶部窗口模块；力学加载与测量模块包括具有的力学加载与测量模块本体，用于放置样品、为样品施加力与位移约束和获取样品的实时应力应变数据；底座模块和顶部窗口模块之间为气体存储空间，用于为不同的环境气体提供反应空间；顶部窗口模块用于密封样品气氛环境，并使电子束穿透样品，从而得到样品的透射电子显微镜图像。该气体环境原位应力应变测量实验平台在原位施加应力载荷状态下，调控样品所处气氛环境，研究样品在不同气氛环境下的力学状态。
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公开(公告)号：CN114264678A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111656100.6
申请日：2021-12-30
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/20008 , H01J37/20 , H01J37/26
Abstract: 本发明提供一种原位透射电镜加热芯片及其制备方法，原位透射电镜加热芯片包括：基底，中部开设有通孔，外周设置有多个定位孔；薄膜绝缘层，薄膜绝缘层对应通孔的外周设置有隔热凹槽；加热电阻层，设置于薄膜绝缘层的顶部，加热电阻层盘绕在通孔的边缘。本发明提供的原位透射电镜加热芯片及其制备方法，通过设置通孔，减少了加热电阻层的加热体积，降低了原位透射电镜加热芯片的加热功率，减少了加热过程中芯片产生的热漂移，使得透射电镜成像更加稳定清晰；超大视场范围用于试验观察，制样更加简单、方便；隔热凹槽有效约束了加热电阻层的温度扩散，使温度尽可能集中，减少加热电阻层在加热过程中对外部电镜配件的热影响。
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公开(公告)号：CN110299274A
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201910459264.6
申请日：2019-05-29
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01J37/20 , G01N23/02 , G01N23/20025 , G01N23/2005
Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法，多悬臂热双金属驱动器包括本体，本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区；主动区开设第一开口，每个被动区开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁；第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通；每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置；本发明结构简单、制备方便，便于批量化生产，实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验，还可根据需要灵活设计驱动器结构，满足不同的驱动需求。
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公开(公告)号：CN105758876B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201610237949.2
申请日：2016-04-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N23/04
Abstract: 种透射电子显微镜用双轴倾转样品杆,包括样品杆杆身主体、前端倾转台、驱动杆、连杆、倾转轴、旋转轴、驱动杆固定轴和样品载台。前端倾转台留有轴孔,通过倾转轴与样品杆杆身主体相连接。通过旋转轴使连杆、凸台卡槽和驱动杆卡槽相连接。样品杆杆身前端两侧位置设计对称的两个贯通的运动导槽,通过驱动杆固定轴固定驱动杆,约束驱动杆在杆身主体后端的直线步进电机驱动下,进行往复式直线运动,进而使样品台绕倾转轴旋转。本装置可通过高精度直线步进电机精确控制样品载台倾转角度。本装置可通过前端倾转台下表面凸台与水平方向上的夹角和运动导槽的长度来调节样品台的最大倾转角度。本装置可以与常规的透射电子显微镜配合使用,通用性广。
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公开(公告)号：CN103311371B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201310239651.1
申请日：2013-06-17
Applicant: 北京工业大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 一体化连续生产薄膜的装置及制膜方法，属于制膜技术领域。装置主要包括送液装置、电磁控制阀、镀膜装置、电磁转向阀、储液装置、机械泵、废液装置、传送装置、转轴、加热装置。本装置采用液面自由下降的形式代替传统衬底上提或是镀膜容器下降的形式，整个镀膜装置固定不动，避免了镀膜过程中的机械振动，保证了所镀薄膜的均匀性。不仅提高了生产效率，还提高了原料的使用率，降低了工业生产的成本。
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