公开(公告)号：CN102915957B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201210345336.2

申请日：2012-09-17

Applicant: 北京大学

Inventor： 张波 ,  靳纯艳 ,  方敏 ,  王金延 ,  王茂俊 ,  于民 ,  解冰 ,  吴文刚

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种制作空气桥及电感的方法。其步骤主要包括：在基片上利用光刻胶制作第一牺牲胶层；在第一牺牲胶层上涂敷光刻胶制作第二牺牲胶层，该第二牺牲胶层的长度小于第一牺牲胶层的长度；通过烘烤使牺牲胶层的边角圆滑并固化，形成拱形的空气桥支撑基片；利用电子束蒸发制作种子层；在种子层上电镀金属材料层；采用腐蚀方法去除种子层，采用有机溶剂去除牺牲胶层，形成空气桥。本发明使用光刻胶制作两层牺牲胶层，可以提高空气桥的性能，并能提高工艺效率，减小制作过程中对器件造成的损伤，同时避免使用剧毒试剂，保护环境。

公开(公告)号：CN101043560A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200610060031.1

申请日：2006-03-22

Applicant: 北京大学深圳研究生院

Inventor： 林茫茫 ,  胡海军 ,  李挥 ,  张军生 ,  张志军 ,  陈慕羿 ,  高金璐 ,  方敏

IPC: H04M9/08 ,  G10L21/02

Abstract: 本发明涉及一种回声消除器及回声消除方法，该回声消除器包括：用于将来自网络端的数据流解码成远端语音信号并提取短时激励信号以及线性预测编码系数的线性预测解码器；用于接收线性预测编码系数和误差信号，并对误差信号进行去相关处理，以产生去相关的误差信号的去相关滤波器；用于接收远端语音信号、短时激励信号和去相关的误差信号，生成估计回声的自适应滤波器；用于接收近端期望信号和和估计回声并从近端期望信号中减去回声信号，生成误差信号的减法器。通过与LPC声码器的结合，所需的去相关语音信号和对误差信号进行去相关的滤波器系数可直接从声码器中提取和更新，显著降低了算法的计算量，加快了收敛速度。

公开(公告)号：CN103094360A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201210256999.7

申请日：2012-07-23

Applicant: 北京大学

Inventor： 靳纯艳 ,  王金延 ,  方敏 ,  张波 ,  王茂俊 ,  于民 ,  解冰 ,  吴文刚

IPC: H01L29/92 ,  H01L21/334

Abstract: 本发明提供一种可变电容及其制作方法。该可变电容包括依次排列的高阻GaN层、高迁移率GaN层、AlGaN势垒层和金属层。该方法包括：在衬底上生长缓冲层；在缓冲层上依次生长高阻GaN层和高迁移率GaN层；在高迁移率GaN层上生长AlGaN势垒层；在AlGaN势垒层上采用ICP-RIE方法刻蚀隔离岛；然后涂光刻胶，进行光刻、曝光并显影，形成肖特基电极图形；再通过电子束蒸发一金属层，将光刻胶剥离后形成可变电容。利用本发明，可在GaN基上实现与高电子迁移率晶体管HEMT工艺兼容的可变电容，对于实现LNAs、VCOs以及混频器等电路有重要意义。

公开(公告)号：CN102915957A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：CN201210345336.2

申请日：2012-09-17

Applicant: 北京大学

Inventor： 张波 ,  靳纯艳 ,  方敏 ,  王金延 ,  王茂俊 ,  于民 ,  解冰 ,  吴文刚

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种制作空气桥及电感的方法。其步骤主要包括：在基片上利用光刻胶制作第一牺牲胶层；在第一牺牲胶层上涂敷光刻胶制作第二牺牲胶层，该第二牺牲胶层的长度小于第一牺牲胶层的长度；通过烘烤使牺牲胶层的边角圆滑并固化，形成拱形的空气桥支撑基片；利用电子束蒸发制作种子层；在种子层上电镀金属材料层；采用腐蚀方法去除种子层，采用有机溶剂去除牺牲胶层，形成空气桥。本发明使用光刻胶制作两层牺牲胶层，可以提高空气桥的性能，并能提高工艺效率，减小制作过程中对器件造成的损伤，同时避免使用剧毒试剂，保护环境。