氟化氯的供给方法
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108883933B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN201780021363.5

    申请日:2017-03-29

    Abstract: 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法,所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的,对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言,通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应,能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。

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