公开(公告)号：CN108883933B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780021363.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 高桥至直 ,  加藤惟人 ,  樱井義将 ,  滝泽浩树 ,  菊池翔 ,  川口真一 ,  池谷庆彦 ,  澁泽幸伸

IPC: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

Abstract: 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的，对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言，通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应，能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。

公开(公告)号：CN111918839A

公开(公告)日：2020-11-10

申请号：CN201980022280.7

申请日：2019-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 澁泽幸伸 ,  滝泽浩树 ,  河原研次 ,  埴谷大地

IPC: C01G39/04

Abstract: 本发明提供一种有效地制造高纯度六氟化钼的方法及用于实施该方法的反应装置。一种六氟化钼的制造方法，其特征在于，其包括如下工序：在包含处于反应器内部且从反应器的上游侧延伸至下游侧的用于载置金属钼的固定床、设置于反应器上游侧的氟(F2)气导入口、设置于反应器下游侧的反应产物气体排出口的六氟化钼制造装置中，使金属钼与氟(F2)气接触，使载置金属钼的固定床发生倾斜。

公开(公告)号：CN108883933A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021363.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 高桥至直 ,  加藤惟人 ,  樱井義将 ,  滝泽浩树 ,  菊池翔 ,  川口真一 ,  池谷庆彦 ,  澁泽幸伸

IPC: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

Abstract: 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的，对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言，通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应，能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。

公开(公告)号：CN111918839B

公开(公告)日：2022-09-13

申请号：CN201980022280.7

申请日：2019-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 澁泽幸伸 ,  滝泽浩树 ,  河原研次 ,  埴谷大地

IPC: C01G39/04

Abstract: 本发明提供一种有效地制造高纯度六氟化钼的方法及用于实施该方法的反应装置。一种六氟化钼的制造方法，其特征在于，其包括如下工序：在包含处于反应器内部且从反应器的上游侧延伸至下游侧的用于载置金属钼的固定床、设置于反应器上游侧的氟(F2)气导入口、设置于反应器下游侧的反应产物气体排出口的六氟化钼制造装置中，使金属钼与氟(F2)气接触，使载置金属钼的固定床发生倾斜。