公开(公告)号：CN111837025A

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201980017935.1

申请日：2019-03-05

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 川口真一

IPC: G01N21/3504 ,  G01N21/03

Abstract: 本发明提供一种不需要预处理而能够对腐蚀性气体中的杂质、氟化氢进行测定、分析的高灵敏度的方法及装置。所使用的是一种气体分析方法及气体分析装置，其通过傅里叶变换红外光谱仪来对包含腐蚀性气体的试样中的氟系气体进行测定，其中，傅里叶变换红外光谱仪设置有具有InGaAs探测元件的探测器和光程长度0.01m～2m的单程气室，室窗由耐腐蚀性材料构成，测定区域为波数3800～14300cm‑1，根据规定波数的光在所述试样中的吸收量与预设的校正曲线来对氟系气体浓度进行定量分析。

公开(公告)号：CN108883933A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021363.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 高桥至直 ,  加藤惟人 ,  樱井義将 ,  滝泽浩树 ,  菊池翔 ,  川口真一 ,  池谷庆彦 ,  澁泽幸伸

IPC: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

Abstract: 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的，对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言，通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应，能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。

公开(公告)号：CN108883933B

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN201780021363.5

申请日：2017-03-29

Applicant: 关东电化工业株式会社

Inventor： 高桥至直 ,  加藤惟人 ,  樱井義将 ,  滝泽浩树 ,  菊池翔 ,  川口真一 ,  池谷庆彦 ,  澁泽幸伸

IPC: C01B7/24 ,  C07B39/00 ,  H01L21/3065

Abstract: 提供稳定地产生产业上可利用的氟化氯(ClF)、可以控制流量、连续地供给的氟化氯供给装置及供给方法。本发明的氟化氯的供给方法为供给氟化氯的供给方法，所述氟化氯是通过将含有氟原子的气体和含有氯原子的气体导入到流通式的加热反应装置或等离子体反应装置而产生的，对于难以高压填充、可以填充到储气瓶等气体容器的量有限的氟化氯而言，通过使能够安全地液化填充到气体容器的2种以上的气体原料反应、或这种气体原料与固体原料反应，能够稳定地产生氟化氯并安全地连续长时间供给。