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公开(公告)号：CN1320955A
公开(公告)日：2001-11-07
申请号：CN01115889.1
申请日：2001-05-14
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
IPC: H01L21/335
Abstract: 本发明公开了一种量子线场效应晶体管结构材料及器件制备方法。该方法具有工艺简单,可重复性强,制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备,通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的,它不涉及光刻、外延层腐蚀等复杂工艺,具有高密度、高均匀性及良好的一维特性。理论上,量子线场效应管具有超高速、低功耗等优良性能,是微电子学的重要研究领域。
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公开(公告)号：CN1391118A
公开(公告)日：2003-01-15
申请号：CN02135279.8
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种静电式微机械全光开关制造方法，涉及光电子技术领域中的全光开关器件的制造。本发明在N型单晶硅衬底上采用微电子大规模集成制造工艺技术制作全光开关的定齿、动齿、定动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、硅微镜、垂直槽、V形槽等各部件。它利用在静电力作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中，不存在光电转换，是一种全光开关。本发明还具有工艺简单成熟，制造成本低廉，能大批量生产等特点，制造的全光开关器件具有结构简单、可靠性好、体积小、重量轻、能耗低等优点，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件的制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1188722C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN02135279.8
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种静电式微机械全光开关制造方法，涉及光电子技术领域中的全光开关器件的制造。本发明在N型单晶硅衬底上采用微电子大规模集成制造工艺技术制作全光开关的定齿、动齿、定动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、硅微镜、垂直槽、V形槽等各部件。它利用在静电力作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中，不存在光电转换，是一种全光开关。本发明还具有工艺简单成熟，制造成本低廉，能大批量生产等特点，制造的全光开关器件具有结构简单、可靠性好、体积小、重量轻、能耗低等优点，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件的制造。
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公开(公告)号：CN1312583A
公开(公告)日：2001-09-12
申请号：CN01110768.5
申请日：2001-04-20
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种分子束外延自组织生长量子线结构材料制备方法。它利用分子束外延技术和高面指数衬底本身不平整性的特点,在控制好一定的生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等生长条件下,在分子束外延设备中自组织一次外延制备量子线结构材料。它不涉及光刻、外延层腐蚀等复杂工艺,制备工艺简单,可重复性强,制造成本低。利用本方法制备的量子线具有高密度、高均匀性及良好的一维特性。可应用于固体光电子和微电子等器件。
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公开(公告)号：CN1123922C
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN01115889.1
申请日：2001-05-14
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
IPC: H01L21/335
Abstract: 本发明公开了一种量子线场效应晶体管的制备方法。该方法具有工艺简单，可重复性强，制造成本低等特点。量子线结构材料是利用分子束外延设备，通过控制生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等条件自组织实现的，它不涉及光刻、外延层腐蚀等复杂工艺，具有高密度、高均匀性及良好的一维特性。理论上，量子线场效应管具有超高速、低功耗等优良性能，是微电子学的重要研究领域。
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公开(公告)号：CN1123913C
公开(公告)日：2003-10-08
申请号：CN01110768.5
申请日：2001-04-20
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种分子束外延自组织生长量子线的制备方法。它利用分子束外延技术和高面指数衬底本身不平整性的特点，在控制好一定的生长温度、元素蒸气压比、生长速率和生长时间等生长条件下，在分子束外延设备中自组织一次外延制备量子线材料。它不涉及光刻、外延层腐蚀等复杂工艺，制备工艺简单，可重复性强，制造成本低。利用本方法制备的量子线具有高密度、高均匀性及良好的一维特性。可应用于固体光电子和微电子等器件。
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公开(公告)号：CN2555511Y
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：CN02268460.3
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种静电式微机械全光开关，涉及光电子技术领域中的光开关器件。它由N型单晶硅衬底、定齿、动齿、定齿和动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、金属层、浓硼层、光纤、硅微镜、垂直槽、V形槽等部件组成。它采用在静电力的作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中不存在光电转换，是一种全光开关。本实用新型还具有功耗低、结构简单、体积小，重量轻、易集成，及采用微电子工艺大批量生产等特点，还可制成多种光开关阵列，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件。
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