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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1188722C
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN02135279.8
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种静电式微机械全光开关制造方法，涉及光电子技术领域中的全光开关器件的制造。本发明在N型单晶硅衬底上采用微电子大规模集成制造工艺技术制作全光开关的定齿、动齿、定动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、硅微镜、垂直槽、V形槽等各部件。它利用在静电力作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中，不存在光电转换，是一种全光开关。本发明还具有工艺简单成熟，制造成本低廉，能大批量生产等特点，制造的全光开关器件具有结构简单、可靠性好、体积小、重量轻、能耗低等优点，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件的制造。
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公开(公告)号：CN1153046C
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN01129222.9
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学 , 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。涉及双向合成喷射流陀螺仪。采用两股速度相反的完全相同的由带驱动器的振动膜、合成喷腔体和喷口构成的合成喷射流源，一对或者多对温度传感器对称布置在合成喷射流的中心线两侧，该温度传感器的位置位于喷口直径9-15倍距离外。本发明无论在匀角速度和非匀角速度情况下，都能顺利地检测角速度，结构简单，寿命长，可以采用微加工技术，加工方便，成本低。灵敏度和分辨率较高。本发明适合于不同场合下的应用，特别是工作环境恶劣的情况。
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公开(公告)号：CN1391118A
公开(公告)日：2003-01-15
申请号：CN02135279.8
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种静电式微机械全光开关制造方法，涉及光电子技术领域中的全光开关器件的制造。本发明在N型单晶硅衬底上采用微电子大规模集成制造工艺技术制作全光开关的定齿、动齿、定动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、硅微镜、垂直槽、V形槽等各部件。它利用在静电力作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中，不存在光电转换，是一种全光开关。本发明还具有工艺简单成熟，制造成本低廉，能大批量生产等特点，制造的全光开关器件具有结构简单、可靠性好、体积小、重量轻、能耗低等优点，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件的制造。
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公开(公告)号：CN1326090A
公开(公告)日：2001-12-12
申请号：CN01129222.9
申请日：2001-06-15
Applicant: 清华大学 , 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本发明属于传感器技术领域。采用两股速度相反的完全相同的由驱动器振动膜和喷口构成的合成喷射流源,一对或者多对加热热敏传感器对称布置在合成喷射流的中心线两侧,该热敏传感器的位置位于喷口直径9－15倍距离外。本发明无论在匀角速度和非匀角速度情况下,都能顺利地检测角速度,结构简单,寿命长,可以采用微加工技术,加工方便,成本低。灵敏度和分辨率较高。本发明适合于不同场合下的应用,特别是工作环境恶劣的情况。
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公开(公告)号：CN2555511Y
公开(公告)日：2003-06-11
申请号：CN02268460.3
申请日：2002-07-25
Applicant: 信息产业部电子第十三研究所
Abstract: 本实用新型公开了一种静电式微机械全光开关，涉及光电子技术领域中的光开关器件。它由N型单晶硅衬底、定齿、动齿、定齿和动齿驱动电极、折叠悬梁、三角平衡梁、中间梁、金属层、浓硼层、光纤、硅微镜、垂直槽、V形槽等部件组成。它采用在静电力的作用下，使硅微镜在光纤内移动，达到硅微镜阻断或反射光纤光，从而对光达到开关作用。在光开关过程中不存在光电转换，是一种全光开关。本实用新型还具有功耗低、结构简单、体积小，重量轻、易集成，及采用微电子工艺大批量生产等特点，还可制成多种光开关阵列，特别适用于高速大规模的全光光纤通信网络中作全光开关器件。
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