公开(公告)号：CN116008298A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211269716.2

申请日：2022-10-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鸟波祐记 ,  中岛大辅 ,  薄井克俊 ,  岩﨑泰久 ,  堀笼翔太 ,  宫本一辉

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法。一种异物检查方法，进行在载置台上配置物体并一边使所述载置台以及对所述物体投射检查光的投光部中的至少一方驱动一边检测所述物体的检查区域上有无异物的异物检查，包括：第1检查工序，检查所述检查区域中的异物；清洁工序，对所述检查区域进行清洁；以及第2检查工序，检查在清洁工序中清洁后的所述检查区域中的异物，在第2检查工序中，在所述检查区域中的在第1检查工序中检测到异物的第1区域中，所述载置台和所述投光部的相对速度被设定为第1速度，在所述检查区域中的在第1检查工序中未检测到异物的第2区域中，所述相对速度被设定为比所述第1速度快的第2速度。

公开(公告)号：CN112904677A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202011383185.0

申请日：2020-12-01

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 中岛大辅 ,  薄井克俊 ,  根谷尚稔 ,  千田高弘 ,  金田崇

IPC: G03F7/20

Abstract: 本公开涉及搬送装置、曝光装置以及物品的制造方法。为了提供能够削减追踪处理来提高吞吐量的搬送装置，本发明的搬送装置具备：搬送部，将搬送物搬送至目标位置；测量部，测量搬送部的位置；存储部，存储将搬送物搬送至目标位置时的目标位置与搬送部的位置之间的位置偏移；以及控制部，根据存储于存储部的位置偏移的历史数据计算偏置驱动量，并将偏置驱动量与基准驱动量相加，从而设定搬送部的直至目标位置的驱动量，其特征在于，控制部根据搬送部的直至目标位置的移动距离、移动方向及移动速度、以及搬送装置内的温度、搬送装置内的振动的大小、搬送物的质量、以及搬送装置的运行时间中的至少一个，对历史数据进行运算处理，从而计算偏置驱动量。