公开(公告)号：CN116008298A

公开(公告)日：2023-04-25

申请号：CN202211269716.2

申请日：2022-10-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鸟波祐记 ,  中岛大辅 ,  薄井克俊 ,  岩﨑泰久 ,  堀笼翔太 ,  宫本一辉

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及异物检查方法、异物检查装置以及物品的制造方法。一种异物检查方法，进行在载置台上配置物体并一边使所述载置台以及对所述物体投射检查光的投光部中的至少一方驱动一边检测所述物体的检查区域上有无异物的异物检查，包括：第1检查工序，检查所述检查区域中的异物；清洁工序，对所述检查区域进行清洁；以及第2检查工序，检查在清洁工序中清洁后的所述检查区域中的异物，在第2检查工序中，在所述检查区域中的在第1检查工序中检测到异物的第1区域中，所述载置台和所述投光部的相对速度被设定为第1速度，在所述检查区域中的在第1检查工序中未检测到异物的第2区域中，所述相对速度被设定为比所述第1速度快的第2速度。

公开(公告)号：CN118818908A

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202410451795.1

申请日：2024-04-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 堀笼翔太

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及保持装置、控制方法、光学装置、曝光装置及物品的制造方法。提供一种保持装置，保持光学元件，其特征在于具有：驱动部，通过驱动所述光学元件而使其变形；测量部，测量通过所述驱动部而变形的所述光学元件的形状；控制部，基于在对所述光学元件施加力、且所述驱动部输出用于维持所述光学元件的形状的第1驱动力的第1状态下由所述测量部测量出的所述光学元件的第1形状、以及在所述驱动部输出比所述第1驱动力小的第2驱动力的第2状态下由所述测量部测量出的所述光学元件的第2形状，经由所述驱动部输出的驱动力控制所述光学元件的形状，以使所述光学元件的形状成为所述光学元件的从基准形状起的变形量比所述第2状态小的第3形状。